特許
J-GLOBAL ID：201203007717945935
除去効率測定システム
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小林 義孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-278047
公開番号（公開出願番号）：特開2012-127740
出願日： 2010年12月14日
公開日（公表日）： 2012年07月05日
要約：
【課題】除去対象ガスを直接利用してガス除去エアフィルタの信頼性や信憑性の高い除去効率を測定することができる除去効率測定システムを提供する。【解決手段】除去効率測定システム10Aは、除去対象ガスと同一の試験用ガス25と、ガス除去エアフィルタ11に除去されずにそれを通過するトレーサーガス31と、空気に含まれる試験用ガス25およびトレーサーガス31の濃度を測定する光音響ガスモニタ16,17とを利用し、所定量の試験用ガス25とトレーサーガス31とをエアフィルタ11の入口側から同時に供給し、エアフィルタ11の入口に流入する空気に含まれる試験用ガス25とトレーサーガス31との濃度をガスモニタ16を利用して測定し、エアフィルタ11を通ってその出口から流出した空気に含まれる試験用ガス25とトレーサーガス31との濃度をガスモニタ16を利用して測定する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
気体中に含まれる各種複数のガス成分のうちの所定の除去対象ガスを除去するガス除去装置の除去効率を測定する除去効率測定システムにおいて、
前記除去効率測定システムが、前記除去対象ガスと同一の試験用ガスを前記ガス除去装置に供給する試験用ガス供給装置と、前記ガス除去装置に除去されずにそれを通過するトレーサーガスを該ガス除去装置に供給するトレーサーガス供給装置と、気体中に含まれる前記試験用ガスおよび前記トレーサーガスの濃度を測定するガス濃度測定装置と、コントローラとから形成され、
前記コントローラが、前記試験用ガス供給装置を利用して所定量の試験用ガスを前記ガス除去装置の入口側から供給しつつ、前記トレーサーガス供給装置を利用して所定量のトレーサーガスを前記試験用ガスと同時に前記ガス除去装置の入口側から供給するガス供給手段と、前記ガス除去装置の入口に流入する気体に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第1測定手段と、前記ガス除去装置を通ってその出口から流出した気体に含まれる前記試験用ガスと前記トレーサーガスとの濃度を前記ガス濃度測定装置を利用して測定するガス濃度第2測定手段とを実行することを特徴とする除去効率測定システム。
IPC (3件)：
G01N 15/08
, G21F 9/02
, G21H 5/00
G01N15/08 A
, G21F9/02 551Z
, G21H5/00 M
