特許

J-GLOBAL ID：201203008054541793

干渉計測方法および干渉計測装置

発明者： 蔵本 福之
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (2件)： 阿部 琢磨 ,  黒岩 創吾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-252472
公開番号（公開出願番号）：特開2012-103140
出願日： 2010年11月11日
公開日（公表日）： 2012年05月31日
要約：

【課題】 干渉計測の応答速度を損なう事無く高精度な屈折率補正を実現可能な干渉計測方法を提供する。【解決手段】 参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出することによって被検光路の幾何学的距離を計測する干渉計測方法において、互いに波長が異なる複数の光束を用いて被検光路の光路長を算出する多波長光路長算出工程、多波長光路長算出工程で算出された被検光路の光路長から被検光路の空気の屈折率を算出する屈折率算出工程、屈折率算出工程で算出された屈折率を平滑化することによって平滑化屈折率を算出する平滑化屈折率算出工程、平滑化屈折率算出工程で算出された平滑化屈折率から被検光路の幾何学的距離を算出する幾何学的距離算出工程を有する事を特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

参照面で反射された光束と被検面で反射された光束との干渉信号を検出することによって被検光路の幾何学的距離を計測する干渉計測方法において、 互いに波長が異なる複数の光束を用いて前記被検光路の光路長を算出する多波長光路長算出工程、 前記多波長光路長算出工程で算出された前記被検光路の光路長から前記被検光路の空気の屈折率を算出する屈折率算出工程、 前記屈折率算出工程で算出された屈折率を平滑化することによって平滑化屈折率を算出する平滑化屈折率算出工程、 前記平滑化屈折率算出工程で算出された平滑化屈折率から前記被検光路の幾何学的距離を算出する幾何学的距離算出工程 を有する事を特徴とする干渉計測方法。

IPC (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/00

FI (2件)：

G01B9/02 ,  G01B11/00 G

Fターム (30件)：

2F064AA01 ,  2F064CC04 ,  2F064DD04 ,  2F064DD06 ,  2F064EE01 ,  2F064FF05 ,  2F064FF08 ,  2F064GG13 ,  2F064GG16 ,  2F064GG22 ,  2F064GG70 ,  2F064HH01 ,  2F064HH06 ,  2F064JJ01 ,  2F065AA01 ,  2F065DD11 ,  2F065EE00 ,  2F065FF52 ,  2F065GG22 ,  2F065GG23 ,  2F065GG25 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ05 ,  2F065LL12 ,  2F065LL17 ,  2F065LL46 ,  2F065LL57 ,  2F065NN06 ,  2F065QQ42 ,  2F065UU07

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 屈折率変動を補償する干渉装置および方法
  公報種別：公表公報   出願番号：特願2000-613997   出願人：ザイゴコーポレイション
• 特公平7-081819
  
• 高精度空気屈折率計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-037529   出願人：工業技術院長