ガスの混合物の分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：結田純次 , 竹林則幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-155448
公開番号（公開出願番号）：特開2012-008130
出願日： 2011年07月14日
公開日（公表日）： 2012年01月12日
要約：

【課題】燃焼プロセス排ガス等の多成分ガス系に含まれる窒素酸化物、炭化水素、一酸化炭素、酸素等を直接検知可能な化学センサーアレイ及び方法を提供する。【解決手段】(i)少なくとも2つの化学/電気活性材料のアレイを含んでなる化学センサーを多成分ガス系に暴露する工程、応答を検出する工程、各化学/電気活性材料の応答を直接測定する工程とを含んでなる。化学/電気活性材料は半導体材料である。測定される応答は、静電容量、電圧、電流、ACインピーダンスまたは、DC抵抗値である。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

多成分ガス混合物の分析装置であって、 (a)各化学/電気活性材料が、該ガス混合物への暴露時に、他の化学/電気活性材料のそれぞれとは異なる電気的応答特性を示す少なくとも2つの化学/電気活性材料のアレイと、 (b)該ガス混合物への該アレイの暴露時に個々に各化学/電気活性材料の電気的応答を測定するための手段と、 (c)該アレイの温度を測定するための手段と、 (d)該電気的応答および温度測定をデジタル化するための手段とを含んでなる装置。

IPC (3件)：

G01N 27/04 , G01N 27/12 , G01N 27/22

FI (4件)：

G01N27/04 E , G01N27/12 C , G01N27/22 A , G01N27/12 B

Fターム (91件)：

2G046AA02 , 2G046AA03 , 2G046AA05 , 2G046AA07 , 2G046AA09 , 2G046AA10 , 2G046AA11 , 2G046AA12 , 2G046AA13 , 2G046AA14 , 2G046AA16 , 2G046AA22 , 2G046AA23 , 2G046BA07 , 2G046BA09 , 2G046BB02 , 2G046BB04 , 2G046BC03 , 2G046BC04 , 2G046BC05 , 2G046FB02 , 2G046FE03 , 2G046FE04 , 2G046FE06 , 2G046FE07 , 2G046FE08 , 2G046FE09 , 2G046FE10 , 2G046FE11 , 2G046FE12 , 2G046FE13 , 2G046FE15 , 2G046FE17 , 2G046FE18 , 2G046FE20 , 2G046FE21 , 2G046FE22 , 2G046FE23 , 2G046FE24 , 2G046FE25 , 2G046FE28 , 2G046FE35 , 2G046FE36 , 2G046FE38 , 2G046FE39 , 2G046FE40 , 2G046FE41 , 2G046FE44 , 2G046FE45 , 2G046FE46 , 2G046FE47 , 2G046FE48 , 2G046FE49 , 2G060AA02 , 2G060AA03 , 2G060AA04 , 2G060AB02 , 2G060AB03 , 2G060AB04 , 2G060AB05 , 2G060AB06 , 2G060AB07 , 2G060AB08 , 2G060AB09 , 2G060AB11 , 2G060AB16 , 2G060AB19 , 2G060AB21 , 2G060AE19 , 2G060AF02 , 2G060AF03 , 2G060AF06 , 2G060AF07 , 2G060AF10 , 2G060AF15 , 2G060AG08 , 2G060BA01 , 2G060BB03 , 2G060BB04 , 2G060BB09 , 2G060BB18 , 2G060BD08 , 2G060HA01 , 2G060HA02 , 2G060HB00 , 2G060HC08 , 2G060HC09 , 2G060HC10 , 2G060HD03 , 2G060JA01 , 2G060KA01

引用特許：

審査官引用 (7件)

特開昭57-066347
特公平6-023710
特開平2-025742

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