特許
J-GLOBAL ID:201203010101024853
非蒸発型ゲッターポンプ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岡本 啓三
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-195658
公開番号(公開出願番号):特開2012-225337
出願日: 2011年09月08日
公開日(公表日): 2012年11月15日
要約:
【課題】加熱用電力を外側から容器内に供給するための電流導入端子を不要とし、容易に加熱することができる非蒸発型ゲッターポンプを提供することを目的とする。【解決手段】容器51と、容器51の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体52と、容器51の外壁面に設けられ、非蒸発型ゲッター担体52を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータ54とを有する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
容器と、
前記容器の内壁面に設けられた非蒸発型ゲッター担体と、
前記容器の外壁面に設けられ、前記非蒸発型ゲッター担体を容器壁を介して熱伝導により加熱するヒータと
を有する非蒸発型ゲッターポンプ。
IPC (2件):
FI (2件):
Fターム (4件):
3H076AA24
, 3H076BB24
, 3H076BB43
, 3H076CC46
引用特許:
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