特許
J-GLOBAL ID：201203010135253339
塗布装置および塗布膜形成システム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
吉竹 英俊
, 有田 貴弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-080049
公開番号（公開出願番号）：特開2012-216375
出願日： 2011年03月31日
公開日（公表日）： 2012年11月08日
要約：
【課題】基材に対して良好に塗布膜を塗布することができる塗布装置、および、この塗布装置を組み込んだ塗布膜形成システムを提供する。【解決手段】ノズル11の第1回転角θ1は、膜厚測定部19により取得された塗布済膜の形状に応じて演算される。そして、塗布開始期間におけるノズル11の姿勢が第1回転角演算部93cにより演算された第1回転角θ1となるように、第1駆動制御部93aがノズル11を揺動させた状態で、塗布膜7が基材5上に形成される。これにより、塗布開始期間における塗布膜7は、「かすれ」や「盛り上がり」等の発生が抑制され、均一な膜厚とされる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
帯状とされた基材に対して断続的に塗布液を塗布しつつ、搬送経路に沿って前記基材を移動させることによって、複数の塗布膜を前記基材上に連なって形成する塗布装置において、
(a) 前記基材を押圧支持しつつ、前記搬送経路に沿って前記基材を走行させるバックアップローラと、
(b) 前記バックアップローラに押圧支持された前記基材に向けて前記塗布液を吐出するノズルと、
(c) 前記バックアップローラに対して前記ノズルを移動または回転させる駆動部と、
(d) 前記駆動部により前記ノズルを移動または回転させることによって、前記バックアップローラの第1回転軸と平行であり、かつ、前記ノズルの先端付近に位置する軸心を中心に前記ノズルを揺動させる第1駆動制御部と、
(e) 前記基材に塗布された前記複数の塗布膜のうちの第1塗布膜の形状を取得する取得部と、
(f) 前記ノズルが前記第1駆動制御部により揺動させられる第1回転角を、塗布開始期間における前記第1塗布膜の形状に応じて演算する第1回転角演算部と、
を備え、
塗布開始期間における前記ノズルの姿勢が、前記第1回転角演算部により演算された前記第1回転角となるように、前記第1駆動制御部が、前記ノズルを揺動させた状態で、
前記複数の塗布膜のうちの前記第1塗布膜に後続する第2塗布膜が、前記基材上に形成されることを特徴とする塗布装置。
IPC (4件)：
H01M 4/04
, B05C 5/02
, B05C 11/10
, B05C 9/14
H01M4/04 101Z
, B05C5/02
, B05C11/10
, B05C9/14
4F041AA12
, 4F041AB01
, 4F041CA02
, 4F041CA13
, 4F041CA16
, 4F042AA22
, 4F042BA10
, 4F042BA25
, 5H050AA19
, 5H050BA17
, 5H050CA01
, 5H050CA08
, 5H050CA09
, 5H050CB03
, 5H050CB07
, 5H050CB08
, 5H050CB11
, 5H050FA04
, 5H050FA18
, 5H050GA02
, 5H050GA22
, 5H050GA27
, 5H050GA29
