特許
J-GLOBAL ID:201203010592731831
磁気記録用軟磁性合金及びスパッタリングターゲット材ならびに磁気記録媒体
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
椎名 彊
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2011-030562
公開番号(公開出願番号):特開2012-169021
出願日: 2011年02月16日
公開日(公表日): 2012年09月06日
要約:
【課題】 アモルファス性、硬さ、耐食性に優れた垂直磁気記録媒体用軟磁性合金及び、この合金の薄膜を作製するためのスパッタリングターゲット材を提供する。【解決手段】 at.%で、Fe:Coの比を10:90〜70:30とし、かつ下記(A)群から(C)群の各種元素を、(A)群元素の1種又は2種以上を0.5%以上、(B)群元素の1種又は2種以上を0.5%以上、(C)群元素の1種又は2種以上を0〜5%含有し、かつ(A)群元素から(C)群元素との和を10〜30%、残部Co及び不可避的不純物からなることを特徴とする磁気記録用軟磁性合金。(A)Ta,Nb,V、(B)Cr,Mo,W、(C)Ti,Zr,Hf【選択図】 なし
請求項(抜粋):
at.%で、Fe:Coの比を10:90〜70:30とし、かつ下記(A)群から(C)群の各種元素を、(A)群元素の1種又は2種以上を0.5%以上、(B)群元素の1種又は2種以上を0.5%以上、(C)群元素の1種又は2種以上を0〜5%含有し、かつ(A)群元素から(C)群元素との和を10〜30%、残部Co及び不可避的不純物からなることを特徴とする磁気記録用軟磁性合金。
(A)Ta,Nb,V
(B)Cr,Mo,W
(C)Ti,Zr,Hf
IPC (5件):
G11B 5/667
, G11B 5/851
, C22C 45/04
, C22C 45/02
, C23C 14/34
FI (5件):
G11B5/667
, G11B5/851
, C22C45/04 B
, C22C45/02 A
, C23C14/34 A
Fターム (20件):
4K029AA09
, 4K029AA24
, 4K029BA24
, 4K029BA26
, 4K029BC06
, 4K029BD11
, 4K029CA05
, 4K029DC04
, 4K029DC07
, 4K029DC39
, 5D006BB01
, 5D006BB06
, 5D006BB07
, 5D006DA03
, 5D006DA08
, 5D006EA03
, 5D112AA05
, 5D112BB06
, 5D112FA04
, 5D112FB02
引用特許: