特許

J-GLOBAL ID：201203010741370545

多結晶シリコン破砕物の製造方法および多結晶シリコンの破砕装置

発明者： 多田 竜佐 ,  佐藤 繁
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-107706
公開番号（公開出願番号）：特開2012-236746
出願日： 2011年05月12日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：

【課題】多結晶シリコンを所望の大きさの塊に破砕して、最大目的寸法の管理ができるとともに、破砕時に微粉の発生を抑えることができる、多結晶シリコン破砕物の製造方法および多結晶シリコンの破砕に適した破砕装置を提供する。【解決手段】破砕装置1は、塊状の多結晶シリコンを破砕する1次破砕手段10と、1次破砕手段により破砕された多結晶シリコン破砕物のうち、サイズの大きい多結晶シリコン破砕物を破砕する2次破砕手段20とを有しており、1次破砕手段10の各ロール3に設けられる破砕歯5は、その先端面55が球面状に形成されるとともに、側面56が円錐面状に形成され、2次破砕手段20の各ロール3に設けられる破砕歯5は、その先端面55が球面状に形成されるとともに、側面56が円柱面状に形成されている。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

塊状の多結晶シリコンを破砕する1次破砕手段と、前記1次破砕手段により破砕された多結晶シリコン破砕物のうち、サイズの大きい多結晶シリコン破砕物を破砕する2次破砕手段とを有しており、各破砕手段は、平行な軸線回りに互いに逆回転する一対のロール間に多結晶シリコンを挟み込んで破砕する構成とされ、各ロールには、外周面上に複数の破砕歯が半径方向外方に突出して設けられ、前記1次破砕手段の各ロールに設けられる破砕歯は、その先端面が球面状に形成されるとともに、側面が円錐面状に形成され、前記2次破砕手段の各ロールに設けられる破砕歯は、その先端面が球面状に形成されるとともに、側面が円柱面状に形成されていることを特徴とする多結晶シリコンの破砕装置。

IPC (5件)：

C01B 33/02 ,  B02C 4/08 ,  B02C 4/30 ,  B02C 21/00 ,  B02C 23/10

FI (5件)：

C01B33/02 E ,  B02C4/08 ,  B02C4/30 ,  B02C21/00 D ,  B02C23/10

Fターム (20件)：

4D063CC01 ,  4D063CC08 ,  4D063GA10 ,  4D063GB07 ,  4D063GC17 ,  4D067DD03 ,  4D067DD08 ,  4D067DD14 ,  4D067EE17 ,  4D067GA20 ,  4D067GB07 ,  4G072AA01 ,  4G072BB01 ,  4G072BB12 ,  4G072DD01 ,  4G072GG03 ,  4G072GG04 ,  4G072HH01 ,  4G072MM26 ,  4G072UU01