特許
J-GLOBAL ID:201203011015998574

ピエゾバルブを操作するための回路装置および方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (10件): 久野 琢也 ,  高橋 佳大 ,  来間 清志 ,  星 公弘 ,  二宮 浩康 ,  住吉 秀一 ,  篠 良一 ,  上島 類 ,  宮城 康史 ,  アインゼル・フェリックス=ラインハルト
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-512297
公開番号(公開出願番号):特表2012-528557
出願日: 2010年05月12日
公開日(公表日): 2012年11月12日
要約:
本発明は、2つのピエゾアクチュエータを有する圧電曲げ変換器によって形成された少なくとも1つのアクチュエータによるピエゾバルブの操作に関する。操作方法は、前記2つのピエゾアクチュエータ(14、16)の一方に選択的に出力すべきアクチュエータ駆動制御信号(out)を少なくとも1つの操作制御信号(in)に依存して生成するステップと、ピエゾアクチュエータ(14、16)のうち目下駆動制御されていないピエゾアクチュエータ(16)における電気的測定量(Id)を捕捉するステップと、捕捉した測定量(Id)に基づいて振動減衰信号(fb)を生成し、該振動減衰信号(fb)を考慮して、目下駆動制御されているピエゾアクチュエータ(14)に対するアクチュエータ駆動制御信号(out)を生成するステップとを有する。
請求項(抜粋):
少なくとも1つのアクチュエータを有するピエゾバルブを操作する回路装置であって、前記アクチュエータは圧電曲げ変換器(12)により形成されており、前記圧電曲げ変換器は前記圧電曲げ変換器の長手方向に沿ってそれぞれ延在する2つのピエゾアクチュエータ(14、16)を有する、回路装置において 該回路装置は、 操作制御信号(in)を入力するためのドライバ入力端(22)と前記2つのピエゾアクチュエータ(14、16)の一方に選択的に出力すべきアクチュエータ駆動制御信号(out)を生成するためのドライバ出力端(24)とを有する少なくとも1つのドライバ(20)と、 目下駆動制御されていないピエゾアクチュエータにおける電気的測定量(Id)を捕捉するための捕捉装置(30)と、 捕捉された測定量(Id)に基づいて振動減衰信号(fb)を生成し、該振動減衰信号(fb)を目下アクチュエータ駆動制御信号(out)を供給するために使用されている前記ドライバ(20)のドライバ入力端(22)にフィードバックするためのフィードバック装置(32)とを含むことを特徴とする ピエゾバルブを操作する回路装置。
IPC (3件):
H02N 2/00 ,  H01L 41/09 ,  F16K 31/02
FI (3件):
H02N2/00 B ,  H01L41/08 U ,  F16K31/02 A
Fターム (3件):
3H062AA13 ,  3H062BB33 ,  3H062CC08

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