特許

J-GLOBAL ID：201203011612757669

荷電粒子線装置

発明者： 大南 祐介 ,  伊東 祐博 ,  勝山 正己
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (3件)： 井上 学 ,  戸田 裕二 ,  岩崎 重美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-017383
公開番号（公開出願番号）：特開2012-160267
出願日： 2011年01月31日
公開日（公表日）： 2012年08月23日
要約：

【課題】大型の試料であっても大気雰囲気あるいはガス雰囲気で観察することが可能な荷電粒子線装置ないし荷電粒子顕微鏡を提供する。【解決手段】真空雰囲気と大気雰囲気(ないしガス雰囲気)を仕切る薄膜を採用する構成の荷電粒子線装置において、荷電粒子光学系を格納する荷電粒子光学鏡筒と、当該荷電粒子光学鏡筒から出射される一次荷電粒子線が前記薄膜まで到達するための経路を真空雰囲気に維持する筐体と、上記荷電粒子光学鏡筒と第1の筐体を装置設置面に対して支持する機構とを備え、当該支持機構として、大型試料を搬入するための開放口を有する筐体、あるいは支柱など筐体以外の形状の機構を採用する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

荷電粒子源から放出される一次荷電粒子線を試料上に走査する荷電粒子光学系と、当該荷電粒子光学系を格納する荷電粒子光学鏡筒と、前記走査により得られる反射電子あるいは二次電子を検出する検出器と、少なくとも一つ以上の排気ポンプとを含む荷電粒子線装置において、 前記試料を格納し、前記荷電粒子線装置全体を装置設置面に対して支持する第2の筐体と、 当該第2の筐体上に設けられ、前記荷電粒子光学鏡筒を支持する第1の筐体と、 前記第1の筐体の底面に設けられる、前記一次荷電粒子線を透過あるいは通過させる薄膜とを備え、 装置動作時に、前記荷電粒子光学鏡筒,前記第1の筐体および前記薄膜によって囲まれる閉空間内が真空排気され、 前記第2の筐体が大気開放されることを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (4件)：

H01J 37/28 ,  H01J 37/18 ,  H01J 37/244 ,  H01J 37/20

FI (5件)：

H01J37/28 B ,  H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J37/20 F ,  H01J37/20 Z

Fターム (14件)：

5C001BB03 ,  5C001CC04 ,  5C033KK09 ,  5C033NN01 ,  5C033NN02 ,  5C033NN04 ,  5C033NN05 ,  5C033NN07 ,  5C033NN10 ,  5C033NP06 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04 ,  5C033UU06 ,  5C033UU10