特許

J-GLOBAL ID：201203012138039527

紫外光発生用ターゲット、電子線励起紫外光源、及び紫外光発生用ターゲットの製造方法

発明者： 本多 慶範 ,  福世 文嗣 ,  鈴木 孝 ,  市川 典男 ,  服部 剛明 ,  河合 浩司 ,  楚 樹成
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-097260
公開番号（公開出願番号）：特開2012-229306
出願日： 2011年04月25日
公開日（公表日）： 2012年11月22日
要約：

【課題】紫外光発生効率を高めることが可能な紫外光発生用ターゲット、電子線励起紫外光源、及び紫外光発生用ターゲットの製造方法を提供する。【解決手段】紫外光発生用ターゲット20は、サファイア、石英または水晶から成る基板21と、基板21上に設けられ、電子線を受けて紫外光を発生するPr:LuAG多結晶膜22とを備える。Pr:LuAG多結晶をターゲットとして用いることによって、Pr:LuAG単結晶膜を用いた場合よりも顕著に紫外光発生効率を高めることができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

サファイア、石英または水晶から成る基板と、 前記基板上に設けられ、電子線を受けて紫外光を発生するPr:LuAG多結晶膜と を備えることを特徴とする、紫外光発生用ターゲット。

IPC (1件)：

C09K 11/80

FI (1件)：

C09K11/80

Fターム (4件)：

4H001XA08 ,  4H001XA13 ,  4H001XA71 ,  4H001YA59