特許
J-GLOBAL ID：201203012316561259
剥離装置および剥離方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
日向寺 雅彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-138142
公開番号（公開出願番号）：特開2012-004353
出願日： 2010年06月17日
公開日（公表日）： 2012年01月05日
要約：
【課題】本発明の実施形態は、剥離作業中に剥離の適否を知ることができる剥離装置および剥離方法を提供する。【解決手段】実施形態によれば、基板の膜が形成された側とは反対の側からレーザ光を照射して、前記基板から前記膜を剥離させる剥離装置であって、前記レーザ光とは異なる波長を有する検査光を出射する検査光源と、前記レーザ光の照射領域に照射された前記検査光の反射光、および、前記レーザ光が照射されることで前記膜の表層が分解される際に生じたプラズマ光の少なくともいずれかを検出する検出部と、前記検出された反射光、および、前記検出されたプラズマ光の少なくともいずれかに基づいて剥離の適否を判定する判定部と、を備えたことを特徴とする剥離装置が提供される。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
基板の膜が形成された側とは反対の側からレーザ光を照射して、前記基板から前記膜を剥離させる剥離装置であって、
前記レーザ光とは異なる波長を有する検査光を出射する検査光源と、
前記レーザ光の照射領域に照射された前記検査光の反射光、および、前記レーザ光が照射されることで前記膜の表層が分解される際に生じたプラズマ光の少なくともいずれかを検出する検出部と、
前記検出された反射光、および、前記検出されたプラズマ光の少なくともいずれかに基づいて剥離の適否を判定する判定部と、
を備えたことを特徴とする剥離装置。
IPC (2件)：
FI (3件)：
H01L21/268 T
, H01L21/20
, H01L21/268 E
5F152LL02
, 5F152LN02
, 5F152LP06
, 5F152MM10
, 5F152NN05
, 5F152NN13
, 5F152NN18
, 5F152NP09
, 5F152NQ09
