特許
J-GLOBAL ID：201203013379779366
薄膜太陽電池用溝加工ツール及び薄膜太陽電池の溝加工装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
新樹グローバル・アイピー特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-233581
公開番号（公開出願番号）：特開2012-146954
出願日： 2011年10月25日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：
【課題】簡単な機構で高い加工精度を確保でき、しかも効率よく溝を加工できるようにする。【解決手段】この薄膜太陽電池用溝加工ツール2は、ホルダ17に保持され、ホルダ17とともに基板のスクライブ予定ラインに沿って相対的に往復移動させて基板上に溝を形成するためのツールである。このツール2は、ホルダ17に保持されるツール本体36と、刃先部37と、を備えている。刃先部37は、ツール本体36の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端と復動側の先端に刃38a,38bを有している。また、刃先部37は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面37aと復動側の側面37bとが傾斜しかつ対称に形成されている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ホルダに保持され、前記ホルダとともに集積型薄膜太陽電池基板のスクライブ予定ラインに沿って相対的に往復移動させて基板上に溝を形成するための溝加工ツールであって、
前記ホルダに保持されるツール本体と、
前記ツール本体の先端部に形成され、移動方向の往動側の先端と復動側の先端に刃を有する刃先部と、
を備え、
前記刃先部は、移動方向の幅が先端に行くにしたがって狭くなるように、対向する往動側の側面と復動側の側面とが傾斜しかつ対称に形成されている、
薄膜太陽電池用溝加工ツール。
IPC (6件)：
H01L 31/04
, B23D 13/00
, B28D 1/20
, B28D 5/00
, H01L 21/304
, B23D 1/00
H01L31/04 S
, B23D13/00
, H01L31/04 E
, B28D1/20
, B28D5/00 Z
, H01L21/304 601B
, B23D1/00
3C050AB02
, 3C069AA03
, 3C069BA03
, 3C069BB01
, 3C069CA05
, 3C069CA06
, 3C069EA01
, 3C069EA02
, 5F057BA15
, 5F057BC09
, 5F057CA12
, 5F057DA18
, 5F057EB26
, 5F151AA10
, 5F151EA16
