円二色性測定装置及び円二色性測定方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋祐司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-067514
公開番号（公開出願番号）：特開2012-202812
出願日： 2011年03月25日
公開日（公表日）： 2012年10月22日
要約：

【課題】測定の感度向上と確からしさの向上をもたらすCD測定装置及び方法を提供すること。【解決手段】円二色性測定装置は、直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)に前記位相差の変調振幅(δ0)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

直線偏光の互いに直交する2つの偏光成分間の位相差(δ)を変調して、長軸方向の一致する扁平率の大きい左右の楕円偏光を交互に形成する楕円偏光変調手段と、被測定試料を透過した前記左右の楕円偏光から短軸方向の偏光成分を取り出して、該偏光成分の強度変化を測定する偏光強度測定手段と、前記強度変化の直流成分(DC)、および、前記位相差の変調に同期する前記強度変化の交流成分(AC)をそれぞれ抽出して、該交流成分および該直流成分の比(AC/DC)に前記位相差の変調振幅(δ0)を掛けた値を算出して、被測定試料の円二色性を取得する演算手段と、を備えることを特徴とする円二色性測定装置。

IPC (4件)：

G01N 21/19 , G01N 21/35 , G01J 4/04 , G01J 3/45

FI (4件)：

G01N21/19 , G01N21/35 Z , G01J4/04 Z , G01J3/45

Fターム (32件)：

2G020AA04 , 2G020BA04 , 2G020CA12 , 2G020CA15 , 2G020CB24 , 2G020CC13 , 2G020CC21 , 2G020CC29 , 2G020CC42 , 2G020CC48 , 2G020CD03 , 2G020CD15 , 2G020CD16 , 2G020CD22 , 2G059AA02 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059EE09 , 2G059EE12 , 2G059GG04 , 2G059GG06 , 2G059HH01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ13 , 2G059JJ18 , 2G059JJ19 , 2G059JJ22 , 2G059JJ23 , 2G059KK02 , 2G059LL01 , 2G059MM01 , 2G059MM09

引用特許：

出願人引用 (5件)

光学活性体検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-356581 出願人：日本分光株式会社
偏光を利用した走査型近視野顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-134178 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開平2-183142

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審査官引用 (5件)

光学活性体検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-356581 出願人：日本分光株式会社
偏光を利用した走査型近視野顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-134178 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
特開平2-183142

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