特許
J-GLOBAL ID:201203015128087719
描画装置及び描画方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
来山 幹雄
, 高橋 敬四郎
, 鵜飼 伸一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-248458
公開番号(公開出願番号):特開2012-096205
出願日: 2010年11月05日
公開日(公表日): 2012年05月24日
要約:
【課題】 高精度に描画を行う。【解決手段】 保持対象物を保持するステージと、ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第1の吐出ヘッド、及び、第2の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットとを有し、ステージは、吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第1の方向に移動可能に保持対象物を保持し、更に、第1及び第2の吐出ヘッドから吐出され、ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、検出器による検出結果に基づいて、第1の吐出ヘッドと第2の吐出ヘッドとの間の第1の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、把握した相対位置関係を加味して、ステージに保持された保持対象物と吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、第1及び第2の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置とを含む描画装置を提供する。【選択図】 図5
請求項(抜粋):
保持対象物を保持するステージと、
前記ステージに保持された保持対象物に向けて液滴を吐出する、第1の吐出ヘッド、及び、第2の吐出ヘッドを備える吐出ヘッドユニットと
を有し、
前記ステージは、前記吐出ヘッドユニットとの間で、相対的に第1の方向に移動可能に保持対象物を保持し、
更に、
前記第1及び第2の吐出ヘッドから吐出され、前記ステージに保持された保持対象物に着弾した液滴を検出する検出器と、
前記検出器による検出結果に基づいて、前記第1の吐出ヘッドと前記第2の吐出ヘッドとの間の前記第1の方向と平行な方向に沿う相対位置関係を把握し、該把握した相対位置関係を加味して、前記ステージに保持された保持対象物と前記吐出ヘッドユニットとの間の相対的な移動、及び、前記第1及び第2の吐出ヘッドからの液滴の吐出を制御する制御装置と
を含む描画装置。
IPC (5件):
B05C 5/00
, B05D 3/00
, B05D 1/26
, B05C 11/00
, H05K 3/10
FI (5件):
B05C5/00 101
, B05D3/00 D
, B05D1/26 Z
, B05C11/00
, H05K3/10 D
Fターム (31件):
4D075AC06
, 4D075AC09
, 4D075AC78
, 4D075AC88
, 4D075AC93
, 4D075AC94
, 4D075CA23
, 4D075CB38
, 4D075DA06
, 4D075EA45
, 4F041AA05
, 4F041AA16
, 4F041AB01
, 4F041BA02
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA24
, 4F042AA06
, 4F042AA27
, 4F042AB00
, 4F042BA08
, 4F042DF09
, 4F042DF15
, 4F042DH09
, 5E343AA12
, 5E343BB71
, 5E343BB75
, 5E343DD12
, 5E343ER14
, 5E343FF05
, 5E343GG08
引用特許:
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