特許

J-GLOBAL ID：201203015732218236

太陽電池の製造装置および太陽電池の製造方法

発明者： 田口 竜大 ,  三科 健
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-188496
公開番号（公開出願番号）：特開2012-049251
出願日： 2010年08月25日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：

【課題】太陽電池を製造する際の真空予備加熱において、太陽電池用基板の温度が上昇して特性が低下することを防止する。【解決手段】真空予備加熱室10に、太陽電池用基板WおよびトレイTを収納し、チャンバ内を減圧する。チャンバ内圧力を一旦、真空雰囲気にした後、真空雰囲気より高く大気圧よりも低い圧力にする。この雰囲気中で、ランプヒータ15による加熱を開始する。チャンバ内の圧力が高いため、太陽電池用基板Wから熱伝導によりチャンバ内に放射される熱量が増大し、図2に図示されるように太陽電池用基板Wの温度上昇を抑制することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

太陽電池用基板および太陽電池用基板が搭載されるトレイを収納し、ランプヒータにより加熱する予備加熱室と、 前記予備加熱室内で加熱された太陽電池用基板およびトレイを収納し、真空雰囲気中で太陽電池用基板に処理を行う真空処理室と、 前記予備加熱室内におけるトレイの温度を検出する温度検出器と、 前記予備加熱室内の圧力を、前記真空処理室内の真空雰囲気よりも高く大気圧よりも低い加熱処理圧力に設定する第1の手段と、前記加熱処理圧力に保持した状態で前記ランプヒータによる加熱を開始する第2の手段と、トレイを所定温度範囲に保持する第3の手段と、前記予備加熱室内の圧力を減圧して前記予備加熱室から前記真空処理室に搬送する第4の手段とを有する制御手段と、を備えることを特徴とする太陽電池の製造装置。

IPC (1件)：

H01L 31/04

FI (1件)：

H01L31/04 T

Fターム (11件)：

5F151AA05 ,  5F151BA14 ,  5F151CA07 ,  5F151CA08 ,  5F151CA13 ,  5F151CA16 ,  5F151CA22 ,  5F151CA35 ,  5F151CA36 ,  5F151EA18 ,  5F151HA02