特許
J-GLOBAL ID：201203016424426150
位置決め装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
世良 和信
, 和久田 純一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-157009
公開番号（公開出願番号）：特開2012-018133
出願日： 2010年07月09日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：
【課題】モータの発熱による位置決め精度の低下をより効果的に抑制することができる位置決め装置を提供する。【解決手段】ベース2上に設けられたモータ3と、モータ3によって回転されるねじ軸4と、複数のボールを介してねじ軸4に連結され、ねじ軸の回転によってベース2上を移動可能なステージ5と、を備える位置決め装置1において、モータケースに取り付けられ、装置1全体の温度を略均一にすべくモータ3の温度を調節可能な伝熱素子を有することを特徴とする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ベース上に設けられたモータと、
前記モータによって回転されるねじ軸と、
該ねじ軸に対して複数のボールを介して組み付けられたナットに連結され、前記ねじ軸の周方向回転によって前記ねじ軸の延びる方向に沿って移動可能なステージと、
を備える位置決め装置において、
前記モータ、前記ねじ軸、前記ナット又は前記ステージのいずれかに、装置全体の温度を略均一にすべく前記モータの温度を調節可能な伝熱素子を設けることを特徴とする位置決め装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (4件)：
2F078CA08
, 2F078CB12
, 2F078CB18
, 2F078CC14
