特許
J-GLOBAL ID:201203016843344172
単位面積あたりの重量及びその面内均一性の測定方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
野口 繁雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-211900
公開番号(公開出願番号):特開2012-068086
出願日: 2010年09月22日
公開日(公表日): 2012年04月05日
要約:
【課題】試料を切り出すことなく、単位面積あたりの重量を測定する。【解決手段】以下のステップを備えてテラヘルツ時間領域分光法に基づいて試料の単位面積当たりの重量を求める。(ステップ1)試料がない場合と、単位面積あたりの重量が既知の複数の標準試料について、テラヘルツ電磁波パルスの時間領域波形のピーク時間を測定し、標準試料の単位面積当たりの重量と、試料がない場合のピーク時間を基準としたときの単位面積当たりの重量に基づくピーク時間の遅延時間ΔTとの関係をあらかじめ求めて検量線を作っておくステップ、(ステップ2)未知試料に対してテラヘルツ電磁波パルスの時間領域波形のピーク時間を測定してピーク時間の遅延時間ΔTsを求めるステップ、及び(ステップ3)前記検量線から遅延時間ΔTsに対応する単位面積当たりの重量を未知試料の単位面積当たりの重量として求めるステップ。【選択図】図1
請求項(抜粋):
以下のステップを備えてテラヘルツ時間領域分光法に基づいて試料の単位面積当たりの重量を求める測定方法。
(ステップ1)試料がない場合と、単位面積あたりの重量が既知の複数の標準試料について、テラヘルツ電磁波パルスの時間領域波形のピーク時間を測定し、標準試料の単位面積当たりの重量と、試料がない場合のピーク時間を基準としたときの単位面積当たりの重量に基づくピーク時間の遅延時間ΔTとの関係をあらかじめ求めて検量線を作っておくステップ、
(ステップ2)未知試料に対してテラヘルツ電磁波パルスの時間領域波形のピーク時間を測定してピーク時間の遅延時間ΔTsを求めるステップ、及び
(ステップ3)前記検量線から遅延時間ΔTsに対応する単位面積当たりの重量を未知試料の単位面積当たりの重量として求めるステップ。
IPC (3件):
G01G 17/02
, G01N 21/35
, G01N 21/41
FI (3件):
G01G17/02 Z
, G01N21/35 Z
, G01N21/41 Z
Fターム (16件):
2G059AA05
, 2G059BB10
, 2G059BB11
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE04
, 2G059EE12
, 2G059GG01
, 2G059GG08
, 2G059HH01
, 2G059JJ01
, 2G059JJ13
, 2G059KK01
, 2G059MM04
, 2G059MM09
, 2G059MM12
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