縦型熱処理装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：勝沼宏仁 , 永井浩之 , 磯貝克臣 , 名塚聡 , 岡田淳平 , 森秀行 , 堀田幸裕
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-164133
公開番号（公開出願番号）：特開2012-080081
出願日： 2011年07月27日
公開日（公表日）： 2012年04月19日
要約：

【課題】処理容器内の温度を精度良く目標温度まで収束させ、かつ収束時間を短縮することができる熱処理装置を提供する。【解決手段】熱処理装置1は炉本体5と、炉本体5内周面に設けられたヒータ18Aと、炉本体5内に配置された処理容器3と、炉本体5に接続された冷却媒体供給ブロア53および冷却媒体排気ブロア63と、処理容器3内に設けられた温度センサ50とを備えている。温度センサ50からの信号が制御装置51のヒータ出力演算部およびブロア出力演算部に送られる。ヒータ出力演算部において、ヒータ出力用数値モデルおよび温度センサ50からの信号に基づいて、ヒータ出力が求められる。ブロア出力演算部において、ブロア出力用数値モデルおよび温度センサ50からの信号に基づいて、ブロア出力が求められる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

炉本体と、炉本体内周面に設けられたヒータと、炉本体内に配置され、炉本体との間に空間を形成するとともに、内部に複数の被処理体を収納する処理容器と、炉本体に冷却媒体供給ラインを介して接続され、炉本体と処理容器との間の空間に冷却媒体を供給するブロアと、炉本体に設けられた排気管と、処理容器内部又は外部の温度を検出する炉内温度センサと、ヒータと、ブロアとを制御して、処理容器内の温度を調整して処理容器内の温度を所定の目標温度に収束させる制御装置とを備え、制御装置は予め定められたヒータ出力とブロア出力に関する数値モデルと、この数値モデルと炉内温度センサからの炉内温度に基づいてヒータ出力を求めるヒータ出力演算部と、数値モデルと炉内温度センサからの炉内温度に基づいてブロア出力を求めるブロア出力演算部とを有することを特徴とする熱処理装置。

IPC (4件)：

H01L 21/22 , H01L 21/31 , C23C 16/46 , H01L 21/324

FI (4件)：

H01L21/22 511A , H01L21/31 E , C23C16/46 , H01L21/324 T

Fターム (18件)：

4K030EA11 , 4K030GA12 , 4K030HA12 , 4K030JA10 , 4K030KA04 , 4K030KA23 , 4K030KA26 , 4K030KA39 , 4K030KA41 , 5F045AA06 , 5F045AA20 , 5F045AB32 , 5F045DP19 , 5F045EG06 , 5F045EJ04 , 5F045EK22 , 5F045GB05 , 5F045GB15

前のページに戻る