特許

J-GLOBAL ID：201203017565804813

流速センサ

発明者： 下山 勲 ,  松本 潔 ,  ▲たか▼畑 智之 ,  菅 哲朗 ,  桑名 健太 ,  高橋 英俊 ,  グェン ミン ジューン
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (3件)： 吉田 正義 ,  今枝 弘充 ,  梅村 裕明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-001918
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145357
出願日： 2011年01月07日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】小型化することができる流速センサを提供する。【解決手段】流速センサ1Aは、板状部14Aと、前記板状部14Aの一側表面15に設けられる第1本体部16Aと、前記板状部14Aの他側表面17に設けられる第2本体部18Aとを有する本体2Aと、前記板状部14Aに形成された2以上の検知部21と、前記第1本体部16Aと前記第2本体部18Aを貫通し、前記検知部21に連通する2以上の流路6Aとを備えることを特徴とする。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

板状部と、 前記板状部の一側表面に設けられる第1本体部と、 前記板状部の他側表面に設けられる第2本体部と を有する本体と、 前記板状部に形成された2以上の検知部と、 前記本体を貫通し、前記検知部に連通する流路と を備えることを特徴とする流速センサ。

IPC (1件)：

G01P 5/14

FI (1件)：

G01P5/14 J