特許
J-GLOBAL ID：201203018168042970
真空ポンプ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-154755
公開番号（公開出願番号）：特開2012-017672
出願日： 2010年07月07日
公開日（公表日）： 2012年01月26日
要約：
【課題】効率的に真空ポンプを加熱できる真空ポンプを提供する。【解決手段】吸気口を有するケーシングと、回転体に設けられた円筒状ロータ部と、円筒状ロータ部の外周側に隙間を介して配置された円筒状のステータとを含むドラッグポンプ部と、排気口を有するベースと、ベースに埋設した、ステータを加熱する抵抗加熱ヒータとを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
吸気口を有するケーシングと、
回転体に設けられた円筒状ロータ部と、前記円筒状ロータ部の外周側に隙間を介して配置された円筒状のステータとを含むドラッグポンプ部と、
排気口を有するベースと、
前記ベースに埋設した、前記ステータを加熱する抵抗加熱ヒータとを備えることを特徴とする真空ポンプ。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
3H131AA02
, 3H131BA03
, 3H131CA35
