エネルギー蓄積電極構造のナノ材料を特性化する計量方法および装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：園田吉隆 , 小林義教
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-549331
公開番号（公開出願番号）：特表2012-517674
出願日： 2010年02月09日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

本明細書に記載の実施形態は通常、エネルギー蓄積デバイス内で使用される電極構造を形成する方法および装置に関する。より詳細には、本明細書に記載の実施形態は、エネルギー蓄積デバイス向けの高容量電極構造を形成する際に使用されるナノ材料を特性化する方法および装置に関する。一実施形態では、エネルギー蓄積デバイス向けの電極構造を形成するプロセスが提供される。このプロセスは、拡散律速堆積プロセスによって第1の電流密度で基板を覆って円柱状の金属構造を堆積させるステップと、円柱状の金属構造の容量を測定して円柱状の金属構造の表面積を決定するステップと、第1の電流密度より大きい第2の電流密度で円柱状の金属構造を覆って3次元の多孔質の金属構造を堆積させるステップとを含む。

請求項（抜粋）：

大面積基板を覆って多孔質の電極構造を形成する基板処理システムであって、拡散律速堆積プロセスによって大面積基板上に円柱状の第1の金属層を形成するように構成された第1のめっきチャンバと、前記円柱状の層を覆って多孔質層を形成するように構成された第2のめっきチャンバと、前記多孔質の金属電極構造の容量を測定して前記多孔質の金属電極構造の表面積を決定することによってナノ材料を特性化するサイクリックボルタンメトリチャンバとを備え、前記サイクリックボルタンメトリチャンバが、電解溶液と、前記電解溶液内に配置された基準電極と、前記電解溶液内に配置された対向電極であり、前記多孔質層および前記多孔質層上に堆積された前記円柱状の層をもつ前記大面積基板が、前記電解溶液内に配置されると作用電極として機能する、対向電極と、前記作用電極、前記基準電極、および前記対向電極と結合され、前記作用電極にランプ電圧を供給するポテンシオスタットとを備える、基板処理システム。

IPC (5件)：

H01M 4/139 , H01G 9/058 , H01G 13/00 , H01M 4/04 , H01G 9/016

FI (5件)：

H01M4/02 112 , H01G9/00 301A , H01G13/00 381 , H01M4/04 101Z , H01G9/00 301F

Fターム (25件)：

5E078AB02 , 5E078AB06 , 5E078BA07 , 5E078LA08 , 5E082AB03 , 5E082AB04 , 5E082LL21 , 5E082LL35 , 5E082LL40 , 5E082MM40 , 5H050AA19 , 5H050BA08 , 5H050BA16 , 5H050CB11 , 5H050DA04 , 5H050FA08 , 5H050FA09 , 5H050FA12 , 5H050GA24 , 5H050GA28 , 5H050GA29 , 5H050HA06 , 5H050HA07 , 5H050HA10 , 5H050HA19

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