特許

J-GLOBAL ID：201203018743123716

樹脂塗布装置

発明者： 桑名 一孝 ,  吉田 悠太
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (5件)： 青木 宏義 ,  天田 昌行 ,  岡田 喜雅 ,  菅野 亨 ,  溝口 勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-005159
公開番号（公開出願番号）：特開2012-146872
出願日： 2011年01月13日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】ステージ上面に気密に貼り付けられたシートを、ステージ上面から容易に剥がすこと。【解決手段】本実施の形態に係るステージ602は、シートSの外周領域を保持する第一の保持面652と、シートSの内側領域に対応して設けられた凹部622の内底面において、シートSの内側領域を保持する第二の保持面653と、凹部622の内周面にて、シートSと第二の保持面653と共に閉空間657を形成する側面654と、閉空間657からエアを吸引する吸引口813とが形成され、吸引口813からのエアの吸引により、第一の保持面652に保持されたシートSを引き伸ばしつつ、第二の保持面653に保持させる構成とした。【選択図】図19

請求項（抜粋）：

ワークを吸着保持可能な押圧面を有する押圧部と、 前記押圧面に対向して配設され、弾性を有するシートの下面を保持するステージと、 前記ステージに保持された前記シートの上面に液状樹脂を供給する樹脂供給部と、 前記押圧面を前記ステージに対して接近及び離反させる移動部と、 前記ステージの下側に配設され、前記シートの上面に供給された前記液状樹脂に光を照射する発光部と、を有し、前記シートの上面に供給された前記液状樹脂を前記押圧面に保持したワークで上から押圧し前記液状樹脂をワーク下面に広げる樹脂塗布装置であって、 前記ステージは、 前記発光部が発する光を透過する部材で形成され、 前記シートを保持する第一の保持面と、 周囲を前記第一の保持面に囲まれ、前記第一の保持面よりも凹んだ第二の保持面と、 前記第一の保持面から前記第二の保持面に至る側面と、 少なくとも前記第二の保持面もしくは前記側面の一方に開口した吸引口と、 前記第一の保持面に保持された前記シートと前記第二の保持面と前記側面とに囲まれた空間の気体を前記吸引口によって吸引して前記シートを前記第二の保持面に吸着保持することを特徴とする樹脂塗布装置。

IPC (3件)：

H01L 21/304 ,  H01L 21/683 ,  H01L 21/31

FI (3件)：

H01L21/304 622N ,  H01L21/68 P ,  H01L21/31 A

Fターム (30件)：

5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031DA15 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA14 ,  5F031FA20 ,  5F031GA02 ,  5F031GA43 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA03 ,  5F031HA13 ,  5F031HA32 ,  5F031HA46 ,  5F031HA50 ,  5F031HA58 ,  5F031MA22 ,  5F031MA37 ,  5F045EB19 ,  5F057AA03 ,  5F057AA35 ,  5F057BA12 ,  5F057BB03 ,  5F057CA24 ,  5F057DA11 ,  5F057FA27 ,  5F057FA50