特許
J-GLOBAL ID:201203019464735317
振動子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
塩野入 章夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-167254
公開番号(公開出願番号):特開2012-227961
出願日: 2012年07月27日
公開日(公表日): 2012年11月15日
要約:
【課題】振動子の周波数調整において、電極パターンの電気容量の変化を低減し、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制することで、振動子の精度を向上させる。【解決手段】振動部分に加えて固定部分を有する振動子において、振動部分に金属膜を付着することによって周波数調整を行う場合に、金属膜を付着する必要がない固定部分において、周波数調整用の金属膜が不可避的に付着する可能性がある部分に金属膜を予め形成しておく。金属膜を予め形成しておくことによって、周波数調整時に固定部分に調整用の金属膜が付着した場合であっても、電気的特性が変化しないようにすることで、電極パターンの電気容量の変化を低減し、また、電極パターンの浮遊容量の発生を抑制する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
一対の振動脚と、
前記一対の振動脚間に所定間隔を開けて配置された固定脚と、を備え、
前記固定脚は、一端側に前記一対の振動脚と一体的に形成される基部を有し、他端側に取り付け対象に固定される支持部を有し、前記取り付け対象に振動することなく固定されていることを特徴とする振動子。
IPC (6件):
H03H 9/19
, H03H 9/215
, H01L 41/18
, H01L 41/08
, H01L 41/22
, G01C 19/562
FI (6件):
H03H9/19 L
, H03H9/215
, H01L41/18 101A
, H01L41/08 Z
, H01L41/22 Z
, G01C19/56 128
Fターム (22件):
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105BB02
, 2F105BB04
, 2F105BB13
, 2F105CC01
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 5J108AA02
, 5J108BB02
, 5J108CC06
, 5J108EE03
, 5J108EE04
, 5J108EE07
, 5J108EE13
, 5J108FF01
, 5J108GG03
, 5J108KK02
, 5J108KK06
, 5J108MM14
, 5J108NA03
, 5J108NB05
引用特許:
審査官引用 (1件)
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小型のピエゾ電子共振器
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-156198
出願人:イーティーエーエスエーマニュファクチュアホルロゲアスイス
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