特許
J-GLOBAL ID:201203020049858932

検出装置及び検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  近藤 伊知良
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-246599
公開番号(公開出願番号):特開2012-098181
出願日: 2010年11月02日
公開日(公表日): 2012年05月24日
要約:
【課題】より高い精度で異物や不良品の検出を行う。【解決手段】異状検査システム100(検出装置)は、検査対象物3を撮像する光源ユニット10及び検出ユニット20と、撮像により得られたスペクトル画像をサポートベクターマシンを用いて解析し検査対象物3中に混在する異物または不良品を検出する分析ユニット30と、を備える。この異状検査システム100では、サポートベクターマシンを用いてスペクトル画像を解析して、異物また不良品を検出するため、従来の主成分分析と比較して、例えば正常部分と異状部分とのスペクトルの差が微弱であっても検出が可能となるため、より高い精度で異状部分の検出を行うことができる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
検査対象物を撮像して得られたスペクトル画像に基づいて、該検査対象物中に混在する異物または不良品を検出する装置であって、 前記検査対象物を撮像する撮像部と、 前記撮像部による撮像により得られたスペクトル画像を、サポートベクターマシンを用いて解析し、前記検査対象物中に混在する異物または不良品を検出する制御部と、 を備えることを特徴とする検出装置。
IPC (2件):
G01N 21/94 ,  G01N 21/35
FI (2件):
G01N21/94 ,  G01N21/35 A
Fターム (28件):
2G051AA33 ,  2G051AB01 ,  2G051AC04 ,  2G051BA06 ,  2G051BA10 ,  2G051BB17 ,  2G051BC06 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051CC15 ,  2G051EB09 ,  2G051EC04 ,  2G051ED21 ,  2G059AA01 ,  2G059BB11 ,  2G059BB15 ,  2G059CC09 ,  2G059CC13 ,  2G059EE02 ,  2G059FF01 ,  2G059FF10 ,  2G059GG01 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01
引用特許:
審査官引用 (8件)
全件表示

前のページに戻る