特許

J-GLOBAL ID：201203020136908954

物理量センサ

発明者： 中村 裕幸 ,  吉内 茂裕
出願人/特許権者： パナソニック株式会社
代理人 (3件)： 内藤 浩樹 ,  永野 大介 ,  藤井 兼太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-103996
公開番号（公開出願番号）：特開2012-233834
出願日： 2011年05月09日
公開日（公表日）： 2012年11月29日
要約：

【課題】本発明は、検出素子を基板や筐体等に接着剤を用いて実装、固定する場合に、この接着剤を所定の位置に規制でき、角速度や加速度等の物理量を安定して検出できる物理量センサを提供することを目的とするものである。【解決手段】本発明の物理量センサは、角速度検出素子の固定部22a、22bと外側梁部23a、23bの接続部分に金属バンプ72を設けることにより、アンダーフィル剤等の接着剤流れを抑制したものである。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

固定部と、前記固定部に接続された外側梁部と、前記固定部と外側梁部にスリットを介して囲まれたセンシング部と、前記外側梁部と前記センシング部とを連結する連結部と、からなる検出素子と、支持基板とを備え、前記固定部に設けた電極部と前記支持基板とはフリップチップ実装によって電気的に接続されるとともに、前記固定部と前記外側梁部との接続部分に金属バンプを形成した物理量センサ。

IPC (4件)：

G01C 19/576 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/22 ,  H01L 41/08

FI (4件)：

G01C19/56 269 ,  H01L41/08 C ,  H01L41/22 Z ,  H01L41/08 Z

Fターム (7件)：

2F105AA10 ,  2F105BB03 ,  2F105BB04 ,  2F105CC04 ,  2F105CD02 ,  2F105CD06 ,  2F105CD13