特許
J-GLOBAL ID：201203022232317030
磁気記録媒体用基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
志賀 正武
, 高橋 詔男
, 渡邊 隆
, 鈴木 三義
, 西 和哉
, 村山 靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-012858
公開番号（公開出願番号）：特開2012-155785
出願日： 2011年01月25日
公開日（公表日）： 2012年08月16日
要約：
【課題】アルミニウム合金基板の表面にNiPめっき被膜を形成した磁気記録媒体用基板について、アルミナ砥粒を使用しない磁気記録媒体用基板の製造方法を提供する。【解決手段】アルミニウム合金基板の表面にNiPめっき被膜を形成した磁気記録媒体用基板の表面を研磨する際に、第1の研磨盤を用いて粉砕シリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する粗研磨工程と、第2の研磨盤を用いてコロイダルシリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する仕上げ研磨工程と含むことにより、アルミナ砥粒を使用することなく、この磁気記録媒体用基板の表面に対して良好な研磨処理を施すことができるため、従来のアルミナ砥粒を用いた場合に生じるアルミナ砥粒の磁気記録媒体用基板への突き刺さりを防ぐことが可能である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
アルミニウム合金基板の表面にNiPめっき被膜を形成した磁気記録媒体用基板の表面を研磨する際に、
第1の研磨盤を用いて破砕シリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する粗研磨工程と、
第2の研磨盤を用いてコロイダルシリカ砥粒を含む研磨液を供給しながら研磨する仕上げ研磨工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体用基板の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (17件)：
3C058AA07
, 3C058AA11
, 3C058AA18
, 3C058AB08
, 3C058CB01
, 3C058CB10
, 3C058DA02
, 3C058DA18
, 5D112AA02
, 5D112AA24
, 5D112BA06
, 5D112BA09
, 5D112EE01
, 5D112GA03
, 5D112GA14
, 5D112GA30
, 5D112JJ01
