特許

J-GLOBAL ID：201203022424164326

薄膜表示素子の検査修正方法及び検査修正装置

発明者： 中尾 敏之 ,  丸山 重信 ,  片岡 文雄
出願人/特許権者： 株式会社日立ハイテクノロジーズ
代理人 (1件)： ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-004234
公開番号（公開出願番号）：特開2012-146529
出願日： 2011年01月12日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】カラーフィルタ方式のOLEDパネルでも、単一波長で、かつ高い信頼性で検査・修正が可能であり、歩留まりを向上させることのできる薄膜表示素子の検査修正方法及び検査修正装置を提供する。【解決手段】 発光層の上に形成された金属電極膜と発光層の金属電極膜と反対の側に形成された透明電極膜とを有する薄膜表示素子の発光の状態を検査して不良箇所を修正する方法及びその装置を、金属電極と透明電極とに電力を印加して発光層を発光させ、この発光層の発光の状態を金属電極に対して透明電極の側から観察して発光層で発光していない位置を検出し、この検出した発光層で発光していない位置の情報に基づいて金属電極に透明電極と反対の側からレーザを照射して発光層で発光していない位置の上方の金属電極膜を除去するように構成した。【選択図】 図8

請求項（抜粋）：

発光層の上に形成された金属電極膜と前記発光層の前記金属電極膜と反対の側に形成された透明電極膜とを有する薄膜表示素子の発光の状態を検査して不良箇所を修正する方法であって、 前記金属電極と前記透明電極とに電力を印加して前記発光層を発光させ、 該発光層の発光の状態を前記金属電極に対して前記透明電極の側から観察して前記発光層で発光していない位置を検出し、 該検出した前記発光層で発光していない位置の情報に基づいて前記金属電極に前記透明電極と反対の側からレーザを照射して前記発光層で発光していない位置の上方の前記金属電極膜を除去する ことを特徴とする薄膜表示素子の検査修正方法。

IPC (6件)：

H05B 33/10 ,  H05B 33/12 ,  H01L 51/50 ,  G09F 9/00 ,  G09F 9/30 ,  H01L 27/32

FI (6件)：

H05B33/10 ,  H05B33/12 Z ,  H05B33/14 A ,  G09F9/00 352 ,  G09F9/30 365Z ,  G09F9/30 338

Fターム (20件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC45 ,  3K107GG14 ,  3K107GG28 ,  3K107GG31 ,  3K107GG56 ,  3K107GG57 ,  5C094AA41 ,  5C094AA42 ,  5C094AA43 ,  5C094BA27 ,  5C094EA05 ,  5C094EA07 ,  5C094GB10 ,  5G435AA17 ,  5G435AA19 ,  5G435BB05 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10