特許
J-GLOBAL ID：201203022958629715
研磨装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
渡邉 勇
, 小杉 良二
, 廣澤 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-202156
公開番号（公開出願番号）：特開2012-056029
出願日： 2010年09月09日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】研磨パッドの寿命を正確に決定することができ、研磨パッドの交換頻度を少なくすることができる研磨装置を提供する。【解決手段】本研磨装置は、研磨テーブル12を回転させるテーブル回転モータ70と、トップリング20を回転させるトップリング回転モータ71と、研磨パッド22をドレッシングするドレッサ50と、研磨パッド22の高さを測定するパッド高さ測定器60と、研磨パッド22の高さから研磨パッド22の減耗量を算出し、研磨パッド22の減耗量と、テーブル回転モータ70のトルクまたは電流と、トップリング回転モータ71のトルクまたは電流とに基づいて研磨パッド22の寿命を決定する診断部47とを備える。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
研磨パッドを支持する研磨テーブルと、
基板を前記研磨パッドの研磨面に押圧するトップリングと、
前記研磨テーブルをその軸心周りに回転させるテーブル回転モータと、
前記トップリングをその軸心周りに回転させるトップリング回転モータと、
前記研磨パッドの前記研磨面をドレッシングするドレッサと、
前記研磨パッドの高さを測定するパッド高さ測定器と、
前記研磨パッドの高さ、前記テーブル回転モータのトルクまたは電流、および前記トップリング回転モータのトルクまたは電流を監視する診断部とを備え、
前記診断部は、前記研磨パッドの高さから前記研磨パッドの減耗量を算出し、前記研磨パッドの減耗量と、前記テーブル回転モータのトルクまたは電流と、前記トップリング回転モータのトルクまたは電流とに基づいて前記研磨パッドの前記研磨面の状態を診断することを特徴とする研磨装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (20件)：
3C034BB87
, 3C034BB92
, 3C034CA02
, 3C034CA13
, 3C034CA26
, 3C034CA30
, 3C034DD07
, 3C034DD10
, 3C058AA19
, 3C058AC02
, 3C058BA01
, 3C058BA06
, 3C058BA07
, 3C058BB02
, 3C058BB09
, 3C058BC02
, 3C058CA05
, 3C058CB03
, 3C058CB06
, 3C058DA17
