特許

J-GLOBAL ID：201203023366254618

波長可変フィルタ

発明者： 中村 亮介
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-188378
公開番号（公開出願番号）：特開2012-022328
出願日： 2011年08月31日
公開日（公表日）： 2012年02月02日
要約：

【課題】駆動電圧の増大を招くことなく、優れた光学特性を有する波長可変フィルタを提供すること。【解決手段】第2の基板3は、その厚さ方向での位置が異なる2つの面を可動部21側に有し、2つの面のうち、一方に駆動電極33が設けられ、他方に検出電極40が設けられており、検出電極40と可動部21との間の静電容量に基づいて、駆動電極33と可動部21の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、可動部21を変位させるとともに、固定反射膜35と可動反射膜25との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、固定反射膜35と可動反射膜25との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されている。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板と、 板状をなし、前記基板に対し略平行に間隔を隔てて、その厚さ方向に変位可能に設けられた可動部と、 前記可動部の前記基板側の面上に設けられた可動反射膜と、 前記基板の前記可動部側の面上に設けられた駆動電極と、 前記駆動電極と離間し、前記基板の前記可動部側の面上に設けられた検出電極と、 前記基板の前記可動部側の面上に設けられた固定反射膜とを有し、 前記基板は、その厚さ方向での位置が異なる2つの設置面を前記可動部側に有し、 前記2つの設置面のうち、一方の設置面上に前記駆動電極が設けられ、他方の設置面上に前記検出電極が設けられており、 前記検出電極と前記可動部との間の静電容量に基づいて、前記駆動電極と前記可動部の間に電位差を生じさせることにより、これらの間に静電引力を生じさせて、前記可動部を変位させるとともに、 前記固定反射膜と前記可動反射膜との間で光反射を繰り返し、干渉を生じさせて、前記固定反射膜と前記可動反射膜との間の距離に応じた波長の光を外部に出射し得るよう構成されていることを特徴とする波長可変フィルタ。

IPC (1件)：

G02B 26/00

FI (1件)：

G02B26/00

Fターム (7件)：

2H141MA21 ,  2H141MB28 ,  2H141MC06 ,  2H141MZ19 ,  2H141MZ25 ,  2H141MZ26 ,  2H141MZ28