特許

J-GLOBAL ID：201203024730453083

貫通電極及びこれを用いた微小構造体、並びにそれらの製造方法

発明者： 牛島 隆志
出願人/特許権者： トヨタ自動車株式会社
代理人 (1件)： 伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-130258
公開番号（公開出願番号）：特開2011-255436
出願日： 2010年06月07日
公開日（公表日）： 2011年12月22日
要約：

【課題】気密性の高い貫通電極及びこれを用いた微小構造体、並びにそれらの製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】導電性を有する基板10の所定領域11を貫通トレンチ20で囲み、周囲から絶縁分離した貫通電極100において、 前記貫通トレンチ内の深さ方向における所定部分を塞ぐように充填された第1の成長膜40と、 前記貫通トレンチの両側面の間を横断する横断部55を含み、該横断部の底面部が前記第1の成長膜の内側に接触するように充填された第2の成長膜50と、を有することを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

導電性を有する基板の所定領域を貫通トレンチで囲み、周囲から絶縁分離した貫通電極において、 前記貫通トレンチ内の深さ方向における所定部分を塞ぐように充填された第1の成長膜と、 前記貫通トレンチの両側面の間を横断する横断部を含み、該横断部の底面部が前記第1の成長膜の内側に接触するように充填された第2の成長膜と、を有することを特徴とする貫通電極。

IPC (4件)：

B81B 7/02 ,  G01P 15/08 ,  H01L 29/84 ,  B81C 3/00

FI (4件)：

B81B7/02 ,  G01P15/08 P ,  H01L29/84 Z ,  B81C3/00

Fターム (23件)：

3C081AA17 ,  3C081BA04 ,  3C081BA06 ,  3C081CA14 ,  3C081CA20 ,  3C081CA29 ,  3C081CA32 ,  3C081DA30 ,  3C081EA02 ,  4M112AA02 ,  4M112BA00 ,  4M112CA41 ,  4M112CA42 ,  4M112CA51 ,  4M112CA53 ,  4M112CA55 ,  4M112DA18 ,  4M112DA20 ,  4M112EA03 ,  4M112EA06 ,  4M112EA11 ,  4M112FA20 ,  4M112GA01