特許
J-GLOBAL ID：201203024848707063

マイクロ波プラズマ改質方法

発明者：
笹井 建典

笹井 建典 について


出願人/特許権者：
東海ゴム工業株式会社

東海ゴム工業株式会社 について


代理人 (2件)： 進藤 素子 ,  東口 倫昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-252437
公開番号（公開出願番号）：特開2012-236968
出願日： 2011年11月18日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：
【課題】 樹脂材料からなる基材の表面を粗面化することなく、当該表面にあるノジュールを微細化することができるマイクロ波プラズマ改質方法を提供する。【解決手段】 樹脂材料からなる基材20の表面に、マイクロ波プラズマP2を照射することにより、基材20の表面にある樹脂成分由来のノジュールの粒子径を300nm以下にする。マイクロ波プラズマP2を照射するマイクロ波プラズマ照射手段4は、マイクロ波を伝送する矩形導波管41と、矩形導波管41の一面に配置され、該マイクロ波が通過するスロット420を有するスロットアンテナ42と、スロット420を覆うようにスロットアンテナ42に積層して配置され、スロット420を通過した該マイクロ波が入射する誘電体部43と、を備える。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
樹脂材料からなる基材の表面に、マイクロ波プラズマを照射することにより、該基材の表面にある樹脂成分由来のノジュールの粒子径を300nm以下にすることを特徴とするマイクロ波プラズマ改質方法。
IPC (5件)：
C08J 7/00 ,  H05B 33/02 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/10 ,  H05H 1/46
FI (6件)：
C08J7/00 306 ,  C08J7/00 ,  H05B33/02 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/10 ,  H05H1/46 B
Fターム (12件)：
3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC21 ,  3K107DD16 ,  3K107EE45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG22 ,  3K107GG28 ,  4F073AA10 ,  4F073BA23 ,  4F073BB01 ,  4F073CA04
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (2件)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM