特許

J-GLOBAL ID：201203025209533700

新規化合物

発明者： 内海 義之 ,  竹下 優 ,  小室 嘉崇
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社 ,  セントラル硝子株式会社
代理人 (4件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  鈴木 三義 ,  五十嵐 光永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-274069
公開番号（公開出願番号）：特開2012-121838
出願日： 2010年12月08日
公開日（公表日）： 2012年06月28日
要約：

【課題】リソグラフィー特性及びレジストパターン形状の向上や、パターン倒れの抑制を達成できるレジスト組成物の、クエンチャーとして有用である新規な化合物の提供。【解決手段】一般式(c1)で表される化合物[R1は置換基を有していてもよい炭素数5以上の脂環式基であり、Xは2価の連結基であり、Yは直鎖状、分岐鎖状、若しくは環状のアルキレン基、又はアリーレン基であり、Rfはフッ素原子を含む炭化水素基であり、M+は有機カチオン又は金属カチオンである]。[化1]【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(c1)で表される化合物。

IPC (4件)：

C07C 311/04 ,  G03F 7/004 ,  H01L 21/027 ,  C07C 381/12

FI (5件)：

C07C311/04 ,  G03F7/004 501 ,  G03F7/004 503A ,  H01L21/30 502R ,  C07C381/12

Fターム (33件)：

2H125AC21 ,  2H125AC79 ,  2H125AF16P ,  2H125AF17P ,  2H125AF18P ,  2H125AF32P ,  2H125AF38P ,  2H125AF70P ,  2H125AH17 ,  2H125AJ14X ,  2H125AJ65X ,  2H125AJ69X ,  2H125AL03 ,  2H125AL11 ,  2H125AM22P ,  2H125AM99P ,  2H125AN38P ,  2H125AN39P ,  2H125AN42P ,  2H125AN63P ,  2H125BA02P ,  2H125BA26P ,  2H125CA12 ,  2H125CB09 ,  2H125CC03 ,  2H125CC15 ,  2H125FA03 ,  4H006AA01 ,  4H006AB76 ,  4H006AD15 ,  4H006BE10 ,  4H006TN30 ,  4H006TN60

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭57-085362
  
• 新規なハロアルキルスルホンアニリド誘導体、除草剤及びその使用方法並びにその中間体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-102950   出願人：日本農薬株式会社
• 特開平2-000268