特許
J-GLOBAL ID：201203025950861677
液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西脇 民雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-286788
公開番号（公開出願番号）：特開2012-131180
出願日： 2010年12月23日
公開日（公表日）： 2012年07月12日
要約：
【課題】段差のない均一な膜厚の絶縁膜を使用できるようにして絶縁耐圧を高め、高い信頼性を有する液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を提供する。【解決手段】共通電極を、第1の下電極14と第1の層間絶縁膜15を間に介して積層された第2の下電極16とで形成し、上電極18から引き出された引き出し配線20は、第2の下電極16の個別電極引き出し部16aに接続されて、個別電極引き出し部16aが個別電極パッド部21と導通しており、第2の下電極16の圧電体電極部16bの一部に設けた導通部16b’は、第1の層間絶縁膜15のスルーホールを介して第1の下電極14と導通しており、バイパス配線24が接続された第2の下電極16のバイパス配線導通部16cは、導通部16c’を介して第1の下電極14と導通している。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
記録液の液滴が吐出されるノズル孔に連通する液室が複数形成された液室基板と、前記液室基板の前記ノズル孔と反対側の領域に振動板を介して設けられた共通電極、圧電体及び個別電極からなる電気機械変換素子と、を備え、前記共通電極及び前記個別電極への電圧の印加により前記圧電体を振動させて前記振動板を変形変位させることで、前記液室内の記録液を加圧して前記ノズル孔から液滴を吐出させる液滴吐出ヘッドにおいて、
前記共通電極は、平坦状の第1の電極層と絶縁層を間に介して積層された第2の電極層とで形成されており、
前記個別電極から引き出された引き出し配線は、前記液室と連通する記録液供給流路と反対側に引き出されるようにして前記第2の電極層の一部として形成される個別電極引き出し部に電気的に接続されて、前記個別電極引き出し部が前記個別電極パッド部と導通しており、
また、前記第2の電極層の前記圧電体と電気的に接する圧電体電極部の一部に設けた導通部は、前記絶縁層のスルーホールを介して前記第1の電極層と導通しており、
更に、前記第1の電極層にはバイアス配線が設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
IPC (2件)：
FI (1件)：
Fターム (7件)：
2C057AF67
, 2C057AG90
, 2C057AG92
, 2C057AG93
, 2C057AG94
, 2C057BA04
, 2C057BA14
