特許

J-GLOBAL ID：201203026386722960

フッ素化アルキルリン酸スルホニウム塩、酸発生剤及び硬化性組成物

発明者： 池田 卓也
出願人/特許権者： サンアプロ株式会社
代理人 (1件)： 林 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-203992
公開番号（公開出願番号）：特開2012-056915
出願日： 2010年09月13日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：

【課題】Sb等の毒性の高い元素を含まず、かつ熱あるいは光などの活性エネルギー線に対して、高感度なスルホニウム塩を提供する。【解決手段】下記式(1)で示されるフッ素化アルキルリン酸スルホニウム塩。【化1】〔式(1)中、R1及びR2はそれぞれ独立にアルキル基又はアラルキル基を表し、R3は水素、アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アラルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基等を表し、mは、R3の個数を表し、0〜5の整数である。Rfは水素の80%以上がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。bはその個数を表し、1〜5の整数である。Rfはそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。〕【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記式(1)で示されるフッ素化アルキルリン酸スルホニウム塩。

IPC (4件)：

C07C 381/12 ,  C07F 9/28 ,  C09K 3/00 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

C07C381/12 ,  C07F9/28 ,  C09K3/00 K ,  H01L21/30 502D ,  H01L21/30 502R

Fターム (6件)：

4H006AA01 ,  4H006AB46 ,  4H050AA01 ,  4H050AB48 ,  5F046AA28 ,  5F146AA28

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-001177
  
• 特開平2-196812