特許
J-GLOBAL ID：201203026386722960
フッ素化アルキルリン酸スルホニウム塩、酸発生剤及び硬化性組成物
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 博史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-203992
公開番号（公開出願番号）：特開2012-056915
出願日： 2010年09月13日
公開日（公表日）： 2012年03月22日
要約：
【課題】Sb等の毒性の高い元素を含まず、かつ熱あるいは光などの活性エネルギー線に対して、高感度なスルホニウム塩を提供する。【解決手段】下記式(1)で示されるフッ素化アルキルリン酸スルホニウム塩。【化1】〔式(1)中、R1及びR2はそれぞれ独立にアルキル基又はアラルキル基を表し、R3は水素、アルキル基、ヒドロキシ基、カルボキシル基、アルコキシ基、アリールオキシ基、アルキルカルボニル基、アリールカルボニル基、アラルキルカルボニル基、アルコキシカルボニル基、アリールオキシカルボニル基等を表し、mは、R3の個数を表し、0〜5の整数である。Rfは水素の80%以上がフッ素原子で置換されたアルキル基を表す。bはその個数を表し、1〜5の整数である。Rfはそれぞれ同一であっても異なっていてもよい。〕【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記式(1)で示されるフッ素化アルキルリン酸スルホニウム塩。
IPC (4件)：
C07C 381/12
, C07F 9/28
, C09K 3/00
, H01L 21/027
C07C381/12
, C07F9/28
, C09K3/00 K
, H01L21/30 502D
, H01L21/30 502R
4H006AA01
, 4H006AB46
, 4H050AA01
, 4H050AB48
, 5F046AA28
, 5F146AA28
