特許
J-GLOBAL ID:201203027341467183

機能性フィルムの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件): 渡辺 望稔 ,  三和 晴子 ,  伊東 秀明 ,  三橋 史生
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2010-194168
公開番号(公開出願番号):特開2012-052170
出願日: 2010年08月31日
公開日(公表日): 2012年03月15日
要約:
【課題】真空中において長尺な基材フィルムを長手方向に搬送しつつ、基材フィルムへの無機膜の成膜、無機膜を保護するための保護フィルムの積層、積層体の巻取りを行う機能性フィルムの製造において、無機膜と保護フィルムとの間に存在する気泡に起因する無機膜の損傷を防止することを目的とする。【解決手段】保護フィルムの積層に先立ち、無機膜の加熱処理を行うことにより、前記課題を解決する。【選択図】図1
請求項(抜粋):
真空中において長尺な基材フィルムを長手方向に搬送しつつ、 気相成長法によって前記基材フィルムの表面に無機膜を成膜し、前記無機膜を加熱処理した後、保護フィルムを前記無機膜に当接して積層し、この基材フィルムと保護フィルムとの積層体をロール状に巻き取ることを特徴とする機能性フィルムの製造方法。
IPC (6件):
C23C 16/56 ,  B32B 9/00 ,  C23C 16/42 ,  B65H 18/10 ,  C23C 16/40 ,  C23C 14/58
FI (6件):
C23C16/56 ,  B32B9/00 A ,  C23C16/42 ,  B65H18/10 A ,  C23C16/40 ,  C23C14/58 B
Fターム (44件):
3F055AA05 ,  3F055BA18 ,  4F100AA01B ,  4F100AA12B ,  4F100AA19B ,  4F100AA20B ,  4F100AK42 ,  4F100AT00A ,  4F100AT00C ,  4F100BA03 ,  4F100EH66B ,  4F100EH662 ,  4F100EJ422 ,  4F100JD02B ,  4F100JD04 ,  4F100JL00 ,  4F100YY002 ,  4K029AA11 ,  4K029AA25 ,  4K029BA44 ,  4K029BA46 ,  4K029BA52 ,  4K029BA58 ,  4K029BC01 ,  4K029CA01 ,  4K029CA05 ,  4K029GA01 ,  4K029JA10 ,  4K029KA03 ,  4K030AA06 ,  4K030AA13 ,  4K030AA17 ,  4K030AA18 ,  4K030BA40 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030DA09 ,  4K030FA03 ,  4K030GA14 ,  4K030JA09 ,  4K030JA10 ,  4K030JA11 ,  4K030KA17 ,  4K030LA02

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