特許
J-GLOBAL ID：201203027940281063
軟X線顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
橘 和之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-162031
公開番号（公開出願番号）：特開2012-021951
出願日： 2010年07月16日
公開日（公表日）： 2012年02月02日
要約：
【課題】ナノメートルオーダーの超微細な構造の顕微鏡観察を行うことができるようにする。【解決手段】光源としてコヒーレントな軟X線を用い、軟X線の進路上に光学レンズは一切用いず、反射ミラー11〜13やハーフミラー15等の反射光学系を用いて軟X線の進路を形成するとともに、軟X線の波面収差を除去する波面補償手段としてデフォーマブルミラー14を備えることにより、反射光学系によって形成された進路上を超短波の軟X線が途中で吸収されることなく伝播し、CCD検出器17に対して試料200の像を結像させることができるようにするとともに、デフォーマブルミラー14により軟X線の波面収差を除去して、短波長の限界にせまる集光性を実現して空間分解能を上げることができるようにする。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
紫外線と硬X線との間の波長域にある軟X線を発生する軟X線発生装置から試料までの上記軟X線の進路上に設けられ、上記軟X線発生装置から発生された上記軟X線を上記試料まで伝播させる第1の反射ミラーと、
上記試料に上記軟X線を照射することによって上記試料から発生する軟X線を検出する軟X線検出手段と、
上記軟X線の進路上に設けられ、上記軟X線の波面収差を除去する波面補償手段とを備えたことを特徴とする軟X線顕微鏡。
IPC (4件)：
G21K 7/00
, G02B 21/00
, G21K 1/00
, G21K 1/06
G21K7/00
, G02B21/00
, G21K1/00 X
, G21K1/06 M
, G21K1/06 P
, G21K1/06 K
