特許
J-GLOBAL ID：201203029457319907
表面検査装置、表面検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-165605
公開番号（公開出願番号）：特開2012-026862
出願日： 2010年07月23日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：
【課題】1つの検査装置により被検査体に波長の異なる複数の光を順次照射できる様にして、表面検査を高精度に行える検査装置を提供する。【解決手段】少なくとも、単色光を発光する光源を有する複数の光源、被検査体表面の光照射個所を撮像する撮像手段、被検査体を駆動させる駆動手段、被検査体が駆動しているときに複数の光源のうちの1つの光源を発光させる様に制御する制御手段を有する表面検査装置。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
少なくとも、
被検査体表面に光を照射する複数の光源と、
前記光が照射された前記被検査体を撮像する撮像手段と、
前記被検査体を駆動させる駆動手段と、
少なくとも、前記複数の光源の発光と前記撮像手段の撮像を制御する制御手段を有する表面検査装置であって、
前記複数の光源のうち、少なくとも1つは単色光を発光するものであり、
前記制御手段は、少なくとも、
前記駆動手段により前記被検査体を駆動させているときに、複数の光源のうちの1つの光源を発光させて残りの光源を発光させない様に制御し、
前記1つの光源からの発光光が照射された前記被検査体を前記撮像手段が撮像する様に制御するものであることを特徴とする表面検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G051AA90
, 2G051AB07
, 2G051BA01
, 2G051BA04
, 2G051BA06
, 2G051BA08
, 2G051BA20
, 2G051BB01
, 2G051BC01
, 2G051CA04
, 2G051CC15
, 2G051DA08
, 2G051EA12
, 2G051EA17
