特許

J-GLOBAL ID：201203030156740087

X線検査方法

発明者： 河原 文雄 ,  兼松 佳弘
出願人/特許権者： 株式会社明和eテック
代理人 (1件)： 守田 賢一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-005354
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145507
出願日： 2011年01月14日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：

【課題】肉厚補正治具を使用することなく簡易かつ正確に検査対象物の欠陥等を検出する。【解決手段】異なる複数の既知の厚みを有する較正体に対してX線を照射して各厚みとこの部分のX線透過量の関係を測定するステップと、各厚みとこの部分でのX線透過量の関係が直線状になるように前記各厚みにおける較正値を決定するステップと、欠陥等の無い正常な検査対象物のX線透過量に基づいた画像をマスタ画像として得るステップと、マスタ画像の各部のX線透過量より当該X線が透過した部分の前記検査対象物の厚みを得るステップと、通常の検査対象物のX線透過量に基づいた画像をテスト画像として得るステップと、前記マスタ画像と前記テスト画像の各部のX線透過量の差分たる差分X線透過量に基づいた差分画像を算出するステップと、前記差分画像の各部の位置に対応した前記マスタ画像部分の厚みにおける前記較正値を前記各部の差分X線透過量に乗じて較正差分X線透過量を算出してこれに基づく較正差分画像を得るステップとを備える。【選択図】 なし

請求項（抜粋）：

異なる複数の既知の厚みを有する較正体に対してX線を照射して各厚みとこの部分のX線透過量の関係を測定するステップと、各厚みとこの部分でのX線透過量の関係が直線状になるように前記各厚みにおける較正値を決定するステップと、検査対象物にX線を照射してこのときのX線透過量より当該X線が透過した部分の厚みを得て、当該厚みにおける前記較正値を前記X線透過量に乗じて較正X線透過量を得るステップとを備えるX線検査方法。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (7件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001FA08 ,  2G001GA12 ,  2G001HA13 ,  2G001KA03