特許
J-GLOBAL ID：201203032855908573

圧力センサー、センサーアレイ、センサーアレイの製造方法、及び把持装置

発明者：
鈴木 博則

鈴木 博則 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  須澤 修 ,  宮坂 一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-104095
公開番号（公開出願番号）：特開2012-215533
出願日： 2011年05月09日
公開日（公表日）： 2012年11月08日
要約：
【課題】メンブレンの破損を防止できる圧力センサー、センサーアレイ、センサーアレイの製造方法を提供すること。【解決手段】圧力センサー6は、開口部61Aを有する支持体61と、支持体61上に設けられて、開口部61Aを閉塞するダイアフラム部7を有する支持膜62、及びダイアフラム部7上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体63を備えた圧力検出部9と、圧力検出部9上に、支持膜62の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部64Aを有するとともに、支持膜62を膜厚み方向から見た平面視において、空洞部64Aの筒状内周壁641が開口部61Aと重なる位置、または開口部61Aよりも外側に形成される枠体64と、枠体64を閉塞する封止膜65と、空洞部64Aの筒状内周壁641、封止膜65、圧力検出部9により形成される内部空間66に充填されるシリコーンオイル20とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
開口部を有する支持体と、 前記支持体上に設けられて、前記開口部を閉塞するダイアフラム部を有する支持膜、及び前記ダイアフラム部上に設けられて、撓むことで電気信号を出力する圧電体を備えた圧力検出部と、 前記圧力検出部上に、前記支持膜の膜厚み方向に沿う筒状の空洞部を有するとともに、前記支持膜を膜厚み方向から見た平面視において、前記空洞部の筒状内周壁が前記開口部の内周縁と重なる位置、または前記開口部の内周縁よりも外側に形成される枠体と、 前記枠体を閉塞する封止膜と、 前記空洞部の筒状内周壁、前記封止膜、前記圧力検出部により形成される内部空間に充填される圧力媒体と、を備えることを特徴とする圧力センサー。
IPC (1件)：
G01L 5/00
FI (1件)：
G01L5/00 101Z
Fターム (3件)：
2F051AA10 ,  2F051AB08 ,  2F051BA05
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM