特許
J-GLOBAL ID：201203032879558484
落射照明画像用のエッジ位置測定値補正
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062642
公開番号（公開出願番号）：特開2012-198208
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2012年10月18日
要約：
【課題】 落射照明画像用のエッジ位置測定値補正を提供する。【解決手段】 精密マシンビジョン検査システムにおける落射照明画像エッジ位置誤差を補正するための方法が開示される。方法には、落射照明光および透過照明光を用いてワークエッジ特徴のエッジ位置測定値を比較することが含まれる。透過照明光を用いたエッジ位置測定値は、落射照明より不確実性が低い。位置補正係数が、2つのエッジ位置測定値間の差から決定され得る。位置補正係数は、落射照明光を用いて取得された画像に基づく後続のエッジ位置測定値を補正するために記憶してもよい。いくつかの実施形態において、位置補正係数は、複数のエッジ用のエッジ位置測定値の比較に基づいて決定してもよい。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
撮像システムと、可動ワークステージと、前記撮像システムの対物レンズから前記ワークステージの方へ落射照明光を投射する落射照明光投射部と、前記ワークステージから前記撮像システムの方へ透過照明光を投射する透過照明光投射部と、制御システムと、を含むマシンビジョン検査システムの動作において歪んだ落射照明エッジ位置を補正するための方法であって、
(a)ワークのエッジ特徴が前記撮像システムの視野にあるように前記ワークを前記ワークステージ上に配置するステップであって、前記エッジ特徴が、落射照明光を前記撮像システムへ反射する領域と、透過照明光を前記撮像システムへ透過させる領域との間の境界を含むステップと、
(b)前記視野の第1の位置に前記エッジ特徴を安定的に保持し、かつ前記落射照明光および前記透過照明光のうちの一方を用いて前記エッジの第1の画像を取得するステップと、
(c)前記視野の前記第1の位置に前記エッジ特徴を安定的に保持し、かつ前記落射照明光および前記透過照明光のうちの他方を用いて前記エッジの第2の画像を取得するステップと、
(d)前記第1の画像における前記エッジ特徴の画定された部分用に第1のエッジ位置測定値を決定するステップと、
(e)前記第2の画像における前記エッジ特徴の前記画定された部分用に第2のエッジ位置測定値を決定するステップと、
(f)前記第1のエッジ位置測定値と前記第2のエッジ位置測定値との間の差に基づいて、落射照明エッジ位置補正係数を決定するステップと、
(g)落射照明光を用いて取得された画像に基づく後続のエッジ位置測定値を補正するための前記落射照明エッジ位置補正係数を記憶するステップと、
を含む方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (27件)：
2F065AA03
, 2F065AA12
, 2F065BB01
, 2F065EE00
, 2F065FF02
, 2F065FF42
, 2F065HH02
, 2F065HH13
, 2F065JJ03
, 2F065JJ09
, 2F065LL04
, 2F065LL05
, 2F065LL06
, 2F065LL49
, 2F065NN01
, 2F065PP01
, 2F065PP02
, 2F065PP05
, 2F065PP12
, 2F065QQ01
, 2F065QQ13
, 2F065QQ23
, 2F065QQ24
, 2F065QQ28
, 2F065QQ42
, 2F065SS03
, 2F065SS13
