特許

J-GLOBAL ID：201203033660354235

樹脂パターンの製造方法

発明者： 山口 尚人 ,  信太 勝 ,  植松 照博
出願人/特許権者： 東京応化工業株式会社
代理人 (1件)： 正林 真之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-141773
公開番号（公開出願番号）：特開2012-008205
出願日： 2010年06月22日
公開日（公表日）： 2012年01月12日
要約：

【課題】高さの異なる樹脂パターンを同時かつ効率的に製造する方法を提供する。【解決手段】樹脂パターンの製造方法は、アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、及び光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、露光した感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含む。特に光重合開始剤(C)は、下記一般式(c-1)で表される化合物を含有する。(式中、R1c,R2cはそれぞれ独立に一価の有機基を示し、R3cはハロゲン原子又は一価の有機基を示し、nは0〜4の整数を示す。)【選択図】なし

請求項（抜粋）：

アルカリ可溶性樹脂(A)、光重合性モノマー(B)、及び光重合開始剤(C)を含有する感光性樹脂組成物を基板上に塗布し、感光性樹脂層を形成する塗布工程と、 前記感光性樹脂層を所望のパターンに応じて異なる露光量で露光する露光工程と、 露光した前記感光性樹脂層を現像して樹脂パターンを形成する現像工程と、を含み、 前記光重合開始剤(C)が下記一般式(c-1)で表される化合物を含有する樹脂パターンの製造方法。

IPC (3件)：

G03F 7/031 ,  G03F 7/033 ,  C08F 2/48

FI (3件)：

G03F7/031 ,  G03F7/033 ,  C08F2/48

Fターム (41件)：

2H125AC36 ,  2H125AD02 ,  2H125AD06 ,  2H125AD10 ,  2H125AD14 ,  2H125AE12P ,  2H125AN24P ,  2H125AN29P ,  2H125AN36P ,  2H125AN39P ,  2H125AN59P ,  2H125AP03P ,  2H125BA01P ,  2H125BA02P ,  2H125BA11P ,  2H125BA16P ,  2H125BA22P ,  2H125CA22 ,  2H125CB02 ,  2H125CC01 ,  2H125CC13 ,  2H189DA07 ,  2H189DA43 ,  2H189FA05 ,  2H189FA16 ,  2H189HA14 ,  2H189LA10 ,  4J011AC04 ,  4J011PA69 ,  4J011PA86 ,  4J011PC02 ,  4J011PC08 ,  4J011QA23 ,  4J011RA03 ,  4J011RA10 ,  4J011RA14 ,  4J011SA78 ,  4J011TA07 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 感放射線性樹脂組成物および液晶表示素子用スペーサーとその製造法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2009-143083   出願人：JSR株式会社
• ネガ型レジスト
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2008-265441   出願人：積水化学工業株式会社
• 感放射線性樹脂組成物、それから形成された突起およびスペーサー、ならびにそれらを具備する液晶表示素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-078802   出願人：JSR株式会社