特許

J-GLOBAL ID：201203033766284074

成膜速度が速いアーク式蒸発源、このアーク式蒸発源を用いた皮膜の製造方法及び成膜装置

発明者： 谷藤 信一 ,  山本 兼司 ,  野村 誉 ,  黒川 好徳 ,  後藤 直行
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (2件)： 安田 敏雄 ,  安田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-201946
公開番号（公開出願番号）：特開2012-026026
出願日： 2010年09月09日
公開日（公表日）： 2012年02月09日
要約：

【課題】アーク式蒸発源において、磁力線を基材方向に誘導して成膜速度を速くする。【解決手段】本発明に係るアーク式蒸発源1は、ターゲット2の外周を取り囲んでいて磁化方向がターゲット2表面と直交する方向に沿うように配置された1又は複数の外周磁石3と、ターゲット2の背面側に配置された背面磁石4とを備え、背面磁石4は、極性が外周磁石3と同方向で且つ磁化方向がターゲット2表面と直交する方向に沿うように配置されている非リング状の第1の永久磁石4Aを有し、第1の永久磁石4Aとターゲット2との間、又は、第1の永久磁石4Aの背面側に、第1の永久磁石4Aと間隔をあけて配置された非リング状の第2の永久磁石4Bを有し、第2の永久磁石4Bは、極性が外周磁石3と同方向で且つ磁化方向がターゲット2表面と直交する方向に沿うように配置されており、第1の永久磁石4Aと第2の永久磁石4Bとの間に磁性体5が配置されている。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

ターゲットの外周を取り囲んでいて磁化方向が前記ターゲット表面と直交する方向に沿うように配置された1又は複数の外周磁石と、前記ターゲットの背面側に配置された背面磁石とを備え、 前記背面磁石は、極性が前記外周磁石と同方向で且つ磁化方向が前記ターゲット表面と直交する方向に沿うように配置されている非リング状の第1の永久磁石を有すると共に、 前記第1の永久磁石と前記ターゲットとの間、もしくは、前記第1の永久磁石の背面側に、前記第1の永久磁石と間隔をあけて配置された非リング状の第2の永久磁石をさらに有し、 前記第2の永久磁石は、極性が前記外周磁石と同方向で且つ磁化方向が前記ターゲット表面と直交する方向に沿うように配置されており、前記第1の永久磁石と前記第2の永久磁石との間に磁性体が配置されていることを特徴とするアーク式蒸発源。

IPC (1件)：

C23C 14/24

FI (1件)：

C23C14/24 F

Fターム (9件)：

4K029AA02 ,  4K029AA21 ,  4K029BA58 ,  4K029BC02 ,  4K029BD05 ,  4K029CA04 ,  4K029CA13 ,  4K029DD06 ,  4K029JA02