特許

J-GLOBAL ID：201203034309715635

重合性単量体

発明者： 土門 大将 ,  渡邉 聡
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (4件)： 小島 隆司 ,  重松 沙織 ,  小林 克成 ,  石川 武史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-169480
公開番号（公開出願番号）：特開2012-031233
出願日： 2010年07月28日
公開日（公表日）： 2012年02月16日
要約：

【解決手段】下記一般式(1)で示される重合性単量体。(上記式(1)中、R1は水素原子、又は炭素数1〜6の直鎖状、分岐状又は環状の1価炭化水素基を示し、R2は重合性官能基を有する基を示す。)【効果】本発明の重合性単量体によれば、架橋ユニットをポリマー鎖に容易に組み込むことができる。この架橋ユニットが組み込まれたポリマーを用いたレジスト組成物は高感度であり、このレジスト組成物を用いてパターンを形成した際には、ラインエッジラフネスの小さいパターンが得られる。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

下記一般式(1)で示される重合性単量体。

IPC (5件)：

C08F 20/36 ,  G03F 7/038 ,  C08F 12/00 ,  H01L 21/027 ,  C07D 239/36

FI (5件)：

C08F20/36 ,  G03F7/038 601 ,  C08F12/00 ,  H01L21/30 502R ,  C07D239/36

Fターム (38件)：

2H125AE04P ,  2H125AE22P ,  2H125AF17P ,  2H125AF38P ,  2H125AM12P ,  2H125AM15P ,  2H125AN39P ,  2H125AN57P ,  2H125AN62P ,  2H125BA01P ,  2H125BA22P ,  2H125BA26P ,  2H125BA32P ,  2H125CA12 ,  2H125CB16 ,  2H125CC01 ,  2H125CC17 ,  4J100AB03R ,  4J100AB07P ,  4J100AB07Q ,  4J100AL08P ,  4J100AR09S ,  4J100BA03Q ,  4J100BA05P ,  4J100BA10Q ,  4J100BA11P ,  4J100BA15P ,  4J100BC73P ,  4J100CA06 ,  4J100DA01 ,  4J100DA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100HA08 ,  4J100HC27 ,  4J100HC47 ,  4J100HC63 ,  4J100JA38