特許

J-GLOBAL ID：201203035939991386

バーチカルプローブヘッド

発明者： 平井 幸廣 ,  竹内 進
出願人/特許権者： 株式会社アドバンストシステムズジャパン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-238795
公開番号（公開出願番号）：特開2012-093127
出願日： 2010年10月25日
公開日（公表日）： 2012年05月17日
要約：

【課題】 屈曲部を有したプローブ針をプローブハウジングに容易に挿入および交換でき、プローブ先端位置の精度が容易に維持される低コスト構造を備えたバーチカルプローブヘッドを提供する。【解決手段】 本発明のバーチカルプローブヘッド1は、テスト端子5aに接触して電気的に導通を有するプローブ先端2aと、電気信号測定装置に信号を伝達するインターポーザ4の接続端子4aと接触して電気的に導通を有するプローブ後端2bとを備え、プローブ下部2cとプローブ上部2dとの間に長手方向に沿って左右に屈曲する屈曲部2eを有するプローブ針2と、プローブ針をプローブ先端側から挿入可能な第1の開口3aを有する上部スルーホール3cと、プローブ先端を電子デバイス側に突出させる第2の開口3bを有する下部スルーホール3dとを有するプローブハウジング3と、上部シリコン基板3eと、下部シリコン基板3fとを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

被検査対象である電子デバイスのテスト端子に接触して電気的に導通を有するプローブ先端と、電気信号測定装置に信号を伝達するインターポーザの接続端子と接触して電気的に導通を有するプローブ後端と、を備えるプローブ針において、前記プローブ先端を含む直線部で形成された部分をプローブ下部と称し、前記プローブ後端を含んで形成された部分をプローブ上部と称したとき、前記プローブ下部と前記プローブ上部との間に長手方向に沿って左右に屈曲する屈曲部を有する前記プローブ針と、 前記プローブ針を前記プローブ先端側から挿入可能な第1の開口を有する上部スルーホールと、前記プローブ先端を前記電子デバイス側に突出させる第2の開口を有する下部スルーホールと、を有するプローブハウジングと、 を備えるバーチカルプローブヘッドであって、 前記プローブハウジングは、前記上部スルーホールを有する上部シリコン基板と、前記下部スルーホールを有する下部シリコン基板とを備えることを特徴とするバーチカルプローブヘッド。

IPC (3件)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R1/073 D ,  G01R31/26 J ,  H01L21/66 B

Fターム (22件)：

2G003AA10 ,  2G003AE03 ,  2G003AG04 ,  2G003AG08 ,  2G003AG12 ,  2G003AH07 ,  2G011AA09 ,  2G011AA15 ,  2G011AB01 ,  2G011AB06 ,  2G011AB07 ,  2G011AC05 ,  2G011AC14 ,  2G011AE01 ,  2G011AE03 ,  2G011AE22 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106DD03 ,  4M106DD04