特許

J-GLOBAL ID：201203035969942240

配列化ダイヤモンド膜およびその製造方法

発明者： 横田 嘉宏 ,  橘 武史
出願人/特許権者： 株式会社神戸製鋼所
代理人 (5件)： 植木 久一 ,  植木 久彦 ,  菅河 忠志 ,  伊藤 浩彰 ,  竹岡 明美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-170947
公開番号（公開出願番号）：特開2012-031000
出願日： 2010年07月29日
公開日（公表日）： 2012年02月16日
要約：

【課題】粒界を避けた素子配置を容易に形成させることにより、実質的に単結晶基板上と同等に高性能の素子を効率的に製造でき、更に粒界に沿って分割することで容易に素子を製造できる、大型の多角形ダイヤモンド結晶粒が配列した高配向ダイヤモンド膜を提供する。【解決手段】異種材料の結晶基板上に、その結晶方位の情報を引き継いで成長を開始した高配向ダイヤモンド膜であって、表面において、多角形ダイヤモンド結晶粒が、重心間距離が20μm以上の二次元繰り返しパターンで配列していることを特徴とする配列化ダイヤモンド膜。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

異種材料の結晶基板上に、その結晶方位の情報を引き継いで成長を開始した高配向ダイヤモンド膜であって、表面において、多角形ダイヤモンド結晶粒が、重心間距離が20μm以上の二次元繰り返しパターンで配列していることを特徴とする配列化ダイヤモンド膜。

IPC (5件)：

C30B 29/04 ,  C23C 16/27 ,  C01B 31/06 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/306

FI (6件)：

C30B29/04 Q ,  C23C16/27 ,  C01B31/06 A ,  H01L21/205 ,  H01L21/302 101C ,  H01L21/302 104Z

Fターム (59件)：

4G077AA03 ,  4G077BA03 ,  4G077DB19 ,  4G077EE05 ,  4G077EE07 ,  4G077HA01 ,  4G077HA02 ,  4G077HA12 ,  4G077TB07 ,  4G077TC17 ,  4G077TK04 ,  4G146AA04 ,  4G146AB07 ,  4G146AC02A ,  4G146AC02B ,  4G146AC14A ,  4G146AC14B ,  4G146AD21 ,  4G146AD40 ,  4G146BA12 ,  4G146BC09 ,  4K030AA10 ,  4K030AA14 ,  4K030AA17 ,  4K030BA28 ,  4K030BB01 ,  4K030BB02 ,  4K030CA04 ,  4K030DA02 ,  4K030FA01 ,  4K030LA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BA20 ,  5F004DA23 ,  5F004DA26 ,  5F004DB00 ,  5F004EA06 ,  5F004EB08 ,  5F045AA09 ,  5F045AB01 ,  5F045AB07 ,  5F045AC08 ,  5F045AC11 ,  5F045AC18 ,  5F045AD13 ,  5F045AE25 ,  5F045AF03 ,  5F045AF14 ,  5F045AF20 ,  5F045BB12 ,  5F045BB18 ,  5F045CA05 ,  5F045CA06 ,  5F045CA09 ,  5F045CA13 ,  5F045DA63 ,  5F045DA67 ,  5F045DB02 ,  5F045EH20