特許

J-GLOBAL ID：201203035983452387

アモルファスカーボン及びその製造方法

発明者： 梅野 正義 ,  山下 征士 ,  奥村 健一 ,  増田 泰造 ,  内田 秀雄 ,  アディカリ スディープ
出願人/特許権者： 学校法人中部大学 ,  トヨタ自動車株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  鈴木 光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2010-192713
公開番号（公開出願番号）：特開2012-049472
出願日： 2010年08月30日
公開日（公表日）： 2012年03月08日
要約：

【課題】欠陥密度の低いアモルファスカーボン及びその製造方法を提供すること。【解決手段】本発明に係るアモルファスカーボンは、フッ素濃度が5×10-5〜3%(atm)であり、少量のフッ素原子を導入したフッ素化アモルファスカーボンである。これにより、アモルファスカーボン中の欠陥数を減少させることができ、欠陥密度の低いアモルファスカーボンが実現可能となる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

フッ素濃度が5×10-5〜3%(atm)であることを特徴とする、 アモルファスカーボン。

IPC (1件)：

H01L 21/205

FI (1件)：

H01L21/205

Fターム (17件)：

5F045AA09 ,  5F045AB07 ,  5F045AC09 ,  5F045AC15 ,  5F045AC16 ,  5F045AC19 ,  5F045AD06 ,  5F045AD07 ,  5F045AD08 ,  5F045AD09 ,  5F045AE19 ,  5F045AF02 ,  5F045CA13 ,  5F045DP04 ,  5F045DQ10 ,  5F045EH02 ,  5F045HA16