マルチヘッド搭載スクライブ装置及びマルチヘッド搭載スクライブ装置を用いたスクライブ方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-010945
公開番号（公開出願番号）：特開2012-116197
出願日： 2012年01月23日
公開日（公表日）： 2012年06月21日
要約：

【課題】チップと一体化したチップホルダを用いることによって、チップ交換に伴う調整作業のわずらわしさを解消する。【解決手段】マルチヘッド搭載スクライブ装置は複数のスクライブヘッドと、スクライブヘッドの先端に設けられるホルダジョイント20と、ホイールチップ14を備えたチップホルダ10と、相対移動部とを具備する。ホルダジョイントの下面に形成された開口23には内側にマグネットが埋設され、開口の中心軸と垂直な平行ピン25が設けられており、チップホルダの一端がホルダジョイントの開口に挿入されれば、チップホルダの傾斜部16aが平行ピン25に接触して位置決めされ、マグネットによって固定される。【選択図】図13

請求項（抜粋）：

複数のスクライブヘッドを搭載したマルチヘッド搭載スクライブ装置であって、脆性材料基板が設置される設置手段と、前記設置手段上の脆性材料基板に対向するように設けられる複数のスクライブヘッドと、前記スクライブヘッドの先端に設けられるホルダジョイントと、一端が傾斜部を含むように一面が切欠かれた取付部を有して前記ホルダジョイントに着脱自在に取付けられ、他端に回転自在に取付けられたスクライブライン形成用のホイールチップを備えたチップホルダと、前記スクライブヘッド及び前記脆性材料基板を、相対的に脆性材料基板の平面に沿った面内で移動させる相対移動部と、を具備し、前記ホルダジョイントは、下面に前記チップホルダの一端が挿入される開口が形成されており、前記開口には内側にマグネットが埋設され、前記開口の中心軸と垂直な平行ピンが設けられており、

IPC (3件)：

B28D 5/00 , B28D 1/24 , C03B 33/03

FI (3件)：

B28D5/00 Z , B28D1/24 , C03B33/03

Fターム (13件)：

3C069AA03 , 3C069BA04 , 3C069BB01 , 3C069BB04 , 3C069BC06 , 3C069CA03 , 3C069CA05 , 3C069CA11 , 3C069CB04 , 4G015FA03 , 4G015FB01 , 4G015FC11 , 4G015FC14

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