特許
J-GLOBAL ID：201203037213611889
シアリング干渉測定装置およびその校正方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-006347
公開番号（公開出願番号）：特開2012-145555
出願日： 2011年01月14日
公開日（公表日）： 2012年08月02日
要約：
【課題】シアリング干渉測定装置においてシア量を高精度に決定するために有利な技術を提供する。【解決手段】撮像素子の撮像面におけるシア量が第1の目標シア量S1になるように駆動機構に回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第1の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す直線1を決定し、前記撮像面におけるシア量が第2の目標シア量S2になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに直線1と同様にして直線2を決定し、直線1、2におけるシア量の差分DDが第1の目標シア量S1と第2の目標シア量S2との差分SDと等しくなる直線1、2におけるシア量S1T、S2Tをそれぞれ真のシア量として決定する。【選択図】図5
請求項（抜粋）：
被検光学系からの光の波面を測定するシアリング干渉測定装置であって、
撮像素子と、
前記被検光学系の瞳を前記撮像素子の撮像面に結像させる瞳結像光学系と、
前記瞳結像光学系の光路に配置され、前記被検光学系からの光の波面を分割することによって複数の波面を形成する回折格子と、
前記回折格子によって分割された複数の波面の間の前記撮像面におけるシア量が変更されるように前記回折格子を駆動する駆動機構と、
前記回折格子によって分割された複数の波面によって前記撮像面に形成される干渉縞を前記撮像素子によって撮像して得られた干渉縞データを処理することにより被検光学系からの光の波面を算出する制御部と、を備え、
前記制御部は、
前記撮像面におけるシア量が第1の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第1の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第1の直線を決定し、
前記撮像面におけるシア量が第2の目標シア量になるように前記駆動機構に前記回折格子を駆動させたときに前記撮像素子によって得られる第2の干渉縞データを複数のシア量のそれぞれを使って処理することによって得られる複数の波面をそれぞれ近似する複数の多項式のそれぞれにおける少なくとも1つの係数と当該複数のシア量との関係を示す第2の直線を決定し、
前記第1の直線と前記第2の直線とにおけるシア量の差分が前記第1の目標シア量と前記第2の目標シア量との差分と等しくなる前記第1の直線におけるシア量および前記第2の直線におけるシア量をそれぞれ真のシア量として決定する、
ことを特徴とするシアリング干渉測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
2F064AA16
, 2F064BB03
, 2F064DD09
, 2F064EE08
, 2F064GG44
, 2F064GG49
, 2F064GG57
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F064JJ15
, 2G086HH06
