特許

J-GLOBAL ID：201203037229371217

SQUID磁気センサ

発明者： 廿日出 好 ,  田中 三郎 ,  金井 翔
出願人/特許権者： 国立大学法人豊橋技術科学大学
代理人 (1件)： 清水 守
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2010002665
公開番号（公開出願番号）：WO2010-122733
出願日： 2010年04月13日
公開日（公表日）： 2010年10月28日
要約：

薄膜一層構造の直接結合型高温超伝導SQUID磁気センサにおいて、磁場中でセンサに生じる磁束トラップ又はジャンプを抑制して、SQUID磁気センサの性能劣化を防ぎ、磁場中でも高感度で安定して動作する高温超伝導型SQUID磁気センサを提供する。 バイクリスタル粒界接合部を持つバイクリスタル基板1と、このバイクリスタル基板1上に第1の高温超伝導薄膜で形成されるピックアップループ7a〜7dと、前記バイクリスタル粒界接合部上に前記ピックアップループ7a〜7dと直接接続する前記第1の高温超伝導薄膜で形成されたSQUIDリング3とを備えた超伝導量子干渉素子磁気センサにおいて、前記ピックアップループ7a〜7dを、前記バイクリスタル粒界接合部に重ならない位置にバイクリスタル粒界ライン2を中心にして複数配設する。

請求項（抜粋）：

バイクリスタル粒界接合部を持つバイクリスタル基板と、該バイクリスタル基板上に第1の高温超伝導薄膜で形成されるピックアップループと、前記バイクリスタル粒界接合部上に前記ピックアップループと直接接続する前記第1の高温超伝導薄膜で形成されたSQUIDリングとを備えた超伝導量子干渉素子(Superconducting QUantum Interference Device:SQUID)磁気センサにおいて、前記ピックアップループを、前記バイクリスタル粒界接合部に重ならない位置にバイクリスタル粒界ラインを中心にして複数配設することを特徴とする高温超伝導型SQUID磁気センサ。

IPC (2件)：

G01R 33/035 ,  H01L 39/22

FI (2件)：

G01R33/035 ,  H01L39/22 D

Fターム (8件)：

2G017AA01 ,  2G017AD32 ,  4M113AA55 ,  4M113AC06 ,  4M113AC46 ,  4M113AD32 ,  4M113CA34 ,  4M113CA44