特許
J-GLOBAL ID：201203038232297962
流速センサー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
村上 友一
, 出口 隆弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-051056
公開番号（公開出願番号）：特開2012-189349
出願日： 2011年03月09日
公開日（公表日）： 2012年10月04日
要約：
【課題】特に複数の感圧素子の一方が他方の圧力変化に影響されることがない流速センサーを提供することを目的としている。【解決手段】本発明の流速センサー10は、筐体の収容空間の第1の開口部を封止する第1のダイアフラム20aと、収容空間の第2の開口部を封止する第2のダイアフラム20bと、感圧部と一対の基部を有して一対の基部を結ぶ方向を検出軸とする感圧素子40と、を有し、感圧素子40は、一対の基部を前記ダイアフラムの支持部に接続し、検出軸はダイアフラムの受圧面に平行であり、第1のダイアフラム20aは、流体の流れる方向に向けた動圧導入口から導入された圧力を受圧し、第2のダイアフラム20bは、流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けた静圧導入口から導入された圧力を受圧し、第1及び第2のダイアフラム20a,20bの受圧面側に断熱部60が設けられたことを特徴としている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流体の中に曝される筐体と、
当該筐体に設けられた第1の収容空間及び第2の収容空間と、
前記筐体の先端部に設けられた動圧導入口と、
前記筐体の側面部に設けられた静圧導入口と、
を備え、
前記動圧導入口を前記流体の流れる方向に向け、
前記静圧導入口を前記流体の流れる方向とほぼ直交した方向に向けてなる流速センサーであって、
前記第1の収容空間の第1の開口部を封止する第1のダイアフラムと、
前記第2の収容空間の第2の開口部を封止する第2のダイアフラムと、
前記第1の収容空間に収容され、第1の感圧部と、当該第1の感圧部の両端に接続される一対の第1の基部と、を有し、前記一対の第1の基部を結ぶ方向を第1の検出軸とする第1の感圧素子と、
前記第2の収容空間に収容され、第2の感圧部と、当該第2の感圧部の両端に接続される一対の第2の基部と、を有し、前記一対の第2の基部を結ぶ方向を第2の検出軸とする第2の感圧素子と、
を有し、
前記第1の感圧素子は、前記第1の基部を前記第1のダイアフラムの支持部に接続し、前記第1の検出軸は前記第1のダイアフラムの受圧面に平行であり、
前記第2の感圧素子は、前記第2の基部を前記第2のダイアフラムの支持部に接続し、前記第2の検出軸は前記第2のダイアフラムの受圧面に平行であり、
前記第1のダイアフラムは、前記動圧導入口から導入された圧力を受圧し、
前記第2のダイアフラムは、前記静圧導入口から導入された圧力を受圧し、
前記第1及び第2のダイアフラムの受圧面側に断熱部が設けられたことを特徴とする流速センサー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F055AA40
, 2F055BB05
, 2F055CC55
, 2F055DD09
, 2F055EE23
, 2F055FF01
, 2F055GG12
